📘 DFM 设计评审 & 报告撰写规范
30 章 · 从入门到实战
第 1 章
DFM概述
什么是DFM
半导体重要性
芯片良率关系
第 2 章
DFM设计规则基础
规则分类
规则来源
DRC简介
第 3 章
光刻工艺与DFM
光刻原理
RET
OPC
SMO
第 4 章
CMP与DFM
CMP原理
版图影响
密度均匀性
虚拟填充
第 5 章
刻蚀工艺与DFM
刻蚀原理
负载效应
微负载
天线效应
第 6 章
薄膜沉积与DFM
沉积工艺
台阶覆盖
深宽比
应力控制
第 7 章
互连与金属化DFM
RC延迟
电迁移
应力迁移
通孔规则
第 8 章
ESD与闩锁效应DFM
ESD保护
闩锁机理
版图防护
Guard Ring
第 9 章
热效应与DFM
热分布
热点分析
热梯度
散热版图
第 10 章
DFM设计规则文件解读
规则文件结构
参数解读
规则冲突
第 11 章
DFM检查工具与流程
Calibre DRC/LVS
Mentor
Synopsys
自动化
第 12 章
版图设计DFM最佳实践
对称性
均匀性
避免尖锐角
悬垂结构
第 13 章
模拟电路DFM设计
匹配器件
电流镜
差分对
电容电阻匹配
第 14 章
数字电路DFM设计
标准单元库
时钟树
电源网络
布线DFM
第 15 章
存储器DFM设计
SRAM单元
DRAM单元
灵敏放大器
冗余设计
第 16 章
射频电路DFM设计
电感布局
传输线
隔离结构
衬底噪声
第 17 章
3D IC与先进封装DFM
TSV规则
微凸点
中介层
热机械应力
第 18 章
FinFET与先进节点DFM
FinFET结构
鳍片规则
多重patterning
EUV DFM
第 19 章
DFM与良率提升
良率模型
关键面积
缺陷敏感度
预测优化
第 20 章
DFM设计评审流程
评审阶段
团队组成
检查清单
会议组织
第 21 章
DFM设计评审内容
版图完整性
规则符合性
可靠性
可测试性
第 22 章
DFM评审报告撰写基础
报告结构
语言风格
数据呈现
结论建议
第 23 章
DFM评审报告模板
封面摘要
评审范围
详细结果
风险建议
第 24 章
图表与数据可视化
截图标注
数据表格
趋势图
SVG流程图
第 25 章
问题分类与优先级
致命问题
主要问题
次要问题
跟踪表
第 26 章
实战案例一：模拟芯片
模拟芯片DFM评审
报告撰写
第 27 章
实战案例二：数字芯片
数字芯片DFM评审
报告撰写
第 28 章
实战案例三：混合信号芯片
混合信号DFM评审
报告撰写
第 29 章
DFM报告自动化生成
脚本化报告
Tcl/Python
模板引擎
第 30 章
未来趋势：AI·云端·协同
AI辅助DFM
云端平台
设计-制造协同