硅光工艺PDK解析与设计实战 · 课程目录

硅光技术概述光子集成

从光子集成到硅基光电子，为什么是硅？

PDK基础概念核心角色

什么是PDK？PDK在硅光设计流程中的角色。

硅光工艺平台巡礼代工厂对比

主流代工厂（IMEC, TowerJazz, AIM Photonics）PDK对比。

无源器件(上)波导·MMI

波导、MMI、定向耦合器。

无源器件(下)光栅·谐振环

光栅耦合器、边缘耦合器、谐振环。

有源器件调制·探测

调制器、探测器、热光移相器。

PDK文件结构解析Layer map

Layer map、Design Rule、Device Model。

工艺设计规则DRC硅光特有

最小线宽、间距、密度检查，硅光特有规则。

器件模型S参数·Verilog-A

S参数、等效电路模型、Verilog-A行为模型。

仿真环境搭建INTERCONNECT

Lumerical INTERCONNECT与PDK的集成。

原理图到版图自动布局布线

PDK驱动的自动化布局布线。

版图实战(一)MZI干涉仪

使用PDK绘制MZI干涉仪。

版图实战(二)WDM滤波器

使用PDK绘制WDM滤波器（级联MRR）。

版图实战(三)高速调制器

高速调制器版图与电极设计。

标准单元库参数化配置

如何调用与参数化配置。

参数化单元PCellPython驱动

Python脚本驱动版图生成。

后仿真与寄生提取版图→S参数

从版图到S参数的流程。

蒙特卡洛与良率统计模型

PDK提供的统计模型如何使用。

MPW流片流程PDK作用

多项目晶圆（MPW）流片流程：PDK在其中的作用。

PDK版本管理工艺迁移

如何应对工艺更新与迁移。

异质集成PDKIII-V混合

III-V族材料与硅光的混合集成。

热管理热光补偿

热光效应模型与补偿设计。

高频模型GSG焊盘

GSG焊盘与传输线模型。

设计实例：400G DR4发射机

PDK驱动的400G DR4发射机设计。

设计实例：光谱仪片上光谱

PDK驱动的片上光谱仪设计。

AI辅助设计机器学习优化

机器学习如何优化PDK器件。

开源PDK探索SiEPIC·OpenPDK

SiEPIC Ebeam PDK与OpenPDK。

测试与验证数据回测

测试结构设计与数据回测。

设计陷阱与避坑指南

常见PDK设计陷阱与避坑指南。

未来趋势标准化·自动化

PDK标准化与自动化设计生态。