📘 光刻机关键部件国产替代深度分析 · 30章

🧑‍🏫 风格 · 全彩目录

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光刻机概述核心地位 · DUV/EUV · ASML/Nikon/Canon

2

光源系统 ArF/KrF · LPP/LDP · 科益虹源/华卓精科

3

物镜系统光学设计 · 高NA物镜 · 国望光学/长春光机所

4

工件台系统双工件台 · 运动控制 · 华卓精科/清华大学

5

浸没系统浸没式原理 · 液体控制 · 国产现状

6

掩模台系统运动对准 · 温度形变 · 国产掩模台

7

对准系统 TTV/ATS · 套刻精度 · 国产进展

8

调平调焦系统传感器 · 焦面控制 · 国产系统

9

环境控制系统洁净温湿度 · 减振 · 国产方案

10

真空系统 EUV真空 · 泵与腔体 · 国产配套

11

气体系统 F₂/Ar/Ne · 纯化供应 · 国产替代

12

涂胶显影系统涂布显影 · TEL/DNS · 沈阳芯源/盛美

13

光刻胶 I-line/KrF/ArF/EUV · 北京科华/博康/南大

14

抗反射层 BARC/TARC · 国产抗反射材料

15

显影液与清洗液配方工艺 · 颗粒去除 · 国产试剂

16

掩模版制造工艺 · OPC · 中芯/华大九天

17

掩模版检测与修复缺陷检测 · 修复技术 · 国产设备

18

量测系统 CD/套刻/膜厚 · 中科飞测/上海精测

19

缺陷检测系统晶圆缺陷 · 光刻缺陷 · 中科飞测/睿励

20

运动控制系统直线电机 · 光栅尺 · 汇川/固高

21

精密机械部件导轨轴承 · 气浮磁浮 · 国产加工

22

光学元件镜片反射镜 · 镀膜 · 成都光明/凤凰

23

激光器准分子/固态 · 大族/锐科激光

24

电源系统高压脉冲 · 稳定性 · 国产电源

25

控制系统实时控制 · FPGA/DSP · 紫光/复旦微

26

软件系统控制软件 · OPC/计算光刻 · 华大/概伦

27

整机集成与测试集成流程 · 验收标准 · 上海微电子

28

供应链分析供应链地图 · 瓶颈机遇 · 安全策略

29

政策与产业生态 02专项 · 产业联盟 · 产学研

30

未来展望 High-NA EUV · 纳米压印 · 国产路线图