📡 光刻机数据采集与监控实战目录

🧑‍🎓 风格 · 30章

01

光刻机概述 01.html

光刻机核心地位 · 光源/掩模/物镜/晶圆台 · ASML/Nikon/Canon

02

数据采集基础 02.html

传感器类型 · DAQ选型 · 信号调理与抗混叠滤波

03

监控系统架构 03.html

SCADA · DCS与现场总线 · OPC UA · 分层架构

04

Python环境搭建 04.html

Anaconda · 虚拟环境 · numpy/pandas/matplotlib/pyvisa/pymodbus/opcua-asyncio

05

PyCharm与调试 05.html

专业版配置 · SSH解释器 · 断点调试 · cProfile性能分析

06

数据采集编程基础 06.html

变量/数据类型 · 列表字典缓存 · 函数封装与模块化

07

串口通信实战 07.html

RS-232/485 · pySerial · 温湿度传感器 · CRC校验

08

Modbus协议详解 08.html

RTU vs TCP · 功能码01-16 · pymodbus实战

09

OPC UA通信 09.html

地址空间模型 · 节点变量 · opcua-asyncio客户端 · 订阅事件

10

数据采集系统设计 10.html

多线程架构 · 生产者-消费者 · queue · 采集频率控制

11

数据存储方案 11.html

CSV · SQLite · InfluxDB · 数据压缩与归档

12

实时数据可视化 12.html

Matplotlib动态 · PyQtGraph · Dash Web仪表板

13

报警与事件管理 13.html

阈值报警 · 优先级 · 事件日志 · 邮件/短信通知

14

历史数据查询 14.html

SQL优化 · 时间范围 · 聚合(avg/max/min) · 数据导出

15

系统配置管理 15.html

JSON/YAML解析 · 热加载 · 多设备配置 · 版本控制

16

日志系统设计 16.html

logging模块 · 分级/轮转 · 远程收集(ELK)

17

安全与权限控制 17.html

JWT认证 · RBAC · TLS加密 · 审计日志

18

冗余与高可用 18.html

主备切换 · 双写策略 · 心跳检测 · 故障恢复

19

性能优化 19.html

异步IO(asyncio) · Cython加速 · 内存池与对象复用

20

边缘计算 20.html

边缘节点 · 预处理(滤波/降采样) · 边云协同 · 断点续传

21

数字孪生基础 21.html

光刻机数字孪生 · 物理+数据驱动 · 实时状态映射

22

机器学习应用 22.html

异常检测(孤立森林/LSTM) · 预测性维护 · 回归分析

23

Web API开发 23.html

FastAPI · RESTful · Swagger · WebSocket实时推送

24

前端监控界面 24.html

Vue3+Element Plus · ECharts · 实时表格 · 主题切换

25

系统集成测试 25.html

HIL测试 · 模拟数据发生器 · 压力/稳定性测试

26

部署与运维 26.html

Docker · Compose · Kubernetes · CI/CD流水线

27

项目实战（一） 27.html

需求分析 · 系统设计文档 · ER图 · 接口定义

28

项目实战（二） 28.html

核心采集模块 · 数据存储 · 报警模块编码

29

项目实战（三） 29.html

Web界面 · 系统联调 · 功能测试 · 性能调优

30

项目实战（四） 30.html

部署上线 · 用户培训 · 运维手册 · 项目复盘