光刻机运动台伺服控制算法 · 课程目录

光刻机运动台概述

光刻机工作原理 · 运动台作用 · 关键性能指标

机械结构与动力学建模

粗动台/微动台/气浮导轨 · 刚柔体动力学 · 参数辨识

伺服控制基础

PID控制 · 三环结构 · 前馈 · 陷波滤波器

先进控制算法

ZPETC · 迭代学习ILC · 滑模SMC · 鲁棒H∞

运动轨迹规划

S曲线 · 梯形速度 · 正弦加速度 · 轨迹插补

多轴同步控制

主从同步 · 交叉耦合 · 电子凸轮 · 龙门同步

振动抑制与抗干扰

主动振动控制 · 加速度反馈 · 扰动观测器 · 自适应前馈

传感器与信号处理

光栅尺 · 激光干涉仪 · 编码器细分 · 滤波去噪

系统辨识与参数整定

频率响应 · 阶跃响应 · 最小二乘 · 自整定

实时控制与通信

RTOS · EtherCAT · FPGA · 控制周期/延迟分析

运动台调试与标定

零点标定 · 限位保护 · 安全逻辑 · 调试工具

性能测试与评估

阶跃/正弦跟踪 · 定位精度 · 重复精度 · 动态评估

故障诊断与维护

故障模式 · 故障树 · 状态监测 · 预测性维护

典型控制方案 · 性能优化 · 问题排查

前沿技术与发展趋势

AI/机器学习 · MPC · 高速高精度新架构

热管理与补偿

热源分析 · 热变形模型 · 主动热补偿 · 冷却设计

电磁兼容与抗干扰

干扰源 · 屏蔽接地 · 滤波器 · EMC标准

安全与可靠性设计

冗余设计 · 故障安全 · 可靠性预计 · FMEA

软件架构与模块化

分层架构 · 模块化原则 · 接口定义 · 代码规范

仿真与虚拟调试

MATLAB/Simulink · 硬件在环 · 虚拟调试

控制算法优化

增益调度 · 自适应控制 · 非线性/摩擦补偿

高速运动控制

高速加减速 · 冲击抑制 · 轨迹平滑 · 振动控制

纳米级定位控制

压电驱动 · 柔性铰链 · 纳米传感器 · 超精密算法

负载变化应对

负载辨识 · 变负载策略 · 自适应前馈 · 鲁棒性

多自由度运动控制

六自由度平台 · 解耦控制 · 雅可比矩阵 · 工作空间

控制系统电磁设计

电机选型 · 驱动器 · 电缆布局 · EMI抑制

控制系统热设计

热源建模 · 散热设计 · 热仿真 · 热测试

可靠性测试

加速寿命 · 环境应力筛选 · 可靠性增长

标准化与认证

SEMI · CE认证 · 安全标准 · 功能安全

综合项目实践

需求分析 → 系统集成 · 算法实现 · 测试优化 · 报告