🔬 尼康投影物镜 · 拆解实战
📘 30章 完整目录
友好
01
尼康投影物镜概述
光刻机心脏 · NA与分辨率
02
光学系统宏观拆解
照明·投影·工件台
03
照明系统核心
蝇眼透镜 · 复眼照明
04
光路关键元件
分光棱镜 · 反射镜 · 偏振片
05
投影物镜机械结构
镜筒材料 · 热膨胀 · 气浮
06
镜片组分类
前组·中组·后组 光焦度
07
非球面镜片
尼康偏爱 · 加工检测
08
镜片镀膜技术
增透膜 · 高反射 · 应力
09
光瞳与视场
入瞳·出瞳 成像影响
10
波像差与泽尼克
Zernike系数评价
11
球差与彗差
产生原因·尼康典型表现
12
像散与场曲
镜片弯曲校正
13
畸变控制
补偿算法·机械预变形
14
色差校正
CaF2 · 复消色差
15
热效应与像漂
温度对焦补偿
16
NA与景深
高NA焦深缩短
17
偏振照明与成像
偏振光特殊作用
18
浸没式光刻
尼康浸没·防水设计
19
双工件台系统
尼康 vs ASML
20
对准系统
光栅尺·干涉仪
21
调焦与调平
气浮轴承·电容传感器
22
镜头清洁与维护
颗粒污染·清洁流程
23
镜头组装流程
镜片清洗到合拢
24
干涉检测
Fizeau干涉仪
25
MTF测试
调制传递函数验收
26
像质评价
星点法·刀口法
27
镜头运输与安装
防震·现场校准
28
故障诊断
条纹·鬼影排查
29
镜头寿命管理
老化·镀膜脱落
30
未来趋势
高NA EUV · 计算光刻