🧪 S206D 实战课程真空·气动

📘 30章 · 完整目录

真空技术基础 🌬️

真空概念 · 真空度划分 · 光刻中的作用

真空泵原理 ⚙️

旋片泵 · 罗茨泵 · 干泵原理与选型

真空测量 📏

皮拉尼规 · 电离规 · 电容薄膜规

真空阀门 🚪

角阀 · 闸阀 · 蝶阀 · 隔膜阀

真空管路设计 🔧

管路材料 · 管径计算 · O圈/金属密封

真空检漏 🔍

氦质谱检漏 · 压力衰减 · 气泡法

S206D真空系统架构 🏗️

前级泵 · 分子泵 · 真空腔体布局

真空系统控制 🕹️

PLC控制 · 真空计联锁 · 阀门时序

真空系统维护 🧰

泵油更换 · 滤芯清洁 · 密封件周期

真空系统故障诊断 ⚠️

真空度上不去 · 抽速慢 · 漏率超标

气动技术基础 💨

气压传动原理 · 系统组成

气源系统 🏭

空压机 · 冷干机 · 过滤器 · 储气罐

气动执行元件 🤖

气缸(单/双作用) · 气爪 · 气动马达

气动控制阀 🔀

换向阀 · 流量阀 · 压力阀

气动辅助元件 🔩

消音器 · 快插接头 · 气管 · 油雾器

气动回路设计 📐

基本回路 · 逻辑回路 · 安全回路

S206D气动系统架构 🏛️

气源分配 · 阀岛布局 · 执行器分布

气动系统控制 🎛️

电磁阀驱动 · 气缸位置检测 · 节流调速

气动系统维护 🛠️

排水 · 润滑 · 密封件检查 · 气管更换

气动系统故障诊断 🚨

气缸爬行 · 阀卡死 · 压力不足 · 泄漏

真空与气动集成 🔗

真空吸盘与气动抓手 · 真空破坏阀

S206D硅片传输系统 🧩

真空吸盘取片 · 气动机械手 · 预对准台

S206D曝光腔真空环境 🌌

真空度要求 · 气体置换 · 排气系统

S206D掩模版真空吸附 🖼️

掩模版夹紧 · 真空回路 · 安全互锁

S206D气动减振系统〰️

空气弹簧 · 调平阀 · 振动控制

S206D冷却系统气动控制 ❄️

冷却水阀 · 气动泵 · 温度调节

S206D安全联锁系统 🔒

真空互锁 · 气压互锁 · 紧急停止

S206D真空与气动系统调试 ⚡

上电检查 · 气密性测试 · 动作测试

S206D验收标准 ✅

真空度指标 · 气压指标 · 响应时间

综合案例 🧪

S206D典型故障排查与修复