设备结构、核心参数、安全注意事项。
校准周期、校准项目清单、校准前准备。
功率计使用、能量均匀性调整、目标值设定。
CCD相机标定、对准标记识别、偏移量补偿。
Z轴零点校正、水平度检测、自动调焦参数。
掩模版装载、基准标记匹配、旋转与平移补偿。
X/Y轴线性度、回程差补偿、速度与加速度设定。
剂量计校准、曝光时间计算、均匀性补偿。
温度、湿度、洁净度对校准的影响及补偿。
日志格式、趋势图绘制、异常值判定。
故障分类、排查流程、安全操作规范。
电源检查、急停按钮复位、主控板状态诊断。
激光器自检、光路遮挡检查、冷却系统故障。
标记识别错误、图像模糊、光源亮度不足。
Z轴卡顿、传感器脏污、算法参数异常。
光路污染、激光模式变化、扫描速度不均。
编码器故障、驱动电机异常、机械间隙。
装载机构检查、清洁流程、更换标准。
界面卡死、通讯中断、参数配置丢失。
真空度不足、管路泄漏、阀门动作异常。
水温过高、流量不足、报警阈值设定。
气压不稳、气缸动作迟缓、电磁阀故障。
门锁传感器、光幕遮挡、紧急停止回路。
图像采集卡、帧率下降、算法崩溃。
EtherCAT总线、TCP/IP连接、数据丢包。
主动减振台、地面振动、设备共振。
静电消除器、接地检测、ESD防护措施。
校准后精度不达标、重复性差、漂移过快。
激光管更换、CCD更换、光栅尺更换后的校准流程。
典型故障模拟、校准实操考核、应急处理演练。