📘 S207D 光刻机自动化编程
✨ 30章 · 从入门到实战 · 友好色系
🧪 共30章 · 点击卡片跳转
1
光刻机自动化概述
S207D简介 · 自动化价值 · Python+SECS/GEM
2
Python基础回顾
环境配置 · 语法 · 列表/字典 · 函数模块
3
SECS/GEM协议入门
什么是SECS/GEM · HSMS · Stream/Function
4
开发环境搭建
安装Python · PyCharm · secsgem库 · 模拟器
5
第一个自动化脚本
连接模拟器 · 状态查询 · 解析数据
6
设备状态监控
轮询SVID · 状态变量 · 日志记录
7
报警处理机制
监听Alarm · 分类响应 · 自动复位
8
晶圆批次追踪
批次ID · 位置跟踪 · MES更新
9
配方管理
Recipe · 上传/下载 · 参数校验
10
作业（Job）控制
创建/启动/暂停/恢复 · 完成回调
11
参数配置与校准
读取PPID · 修改阈值 · 校准自动化
12
数据采集与存储
温度/曝光剂量 · CSV/数据库 · 可视化
13
异常处理与重试
断线重连 · 超时处理 · 事务回滚
14
多线程与并发
Threading · 线程安全 · GIL影响
15
日志系统设计
logging模块 · 分级 · 轮转 · 分析
16
用户界面（UI）基础
Tkinter/PyQt · 控制面板 · 状态显示
17
API接口封装
RESTful API · Flask · 轻量服务
18
与MES系统集成
HTTP/HTTPS · 上报数据 · 工单指令
19
配方自动化优化
历史数据调参 · 机器学习初步
20
安全与权限管理
用户认证 · 权限分级 · 审计日志
21
测试与模拟
单元测试 · 集成测试 · 压力测试
22
部署与运维
打包exe · 工控机部署 · 开机自启
23
性能优化
降低延迟 · 采集频率 · 内存管理
24
常见故障排查
连接失败 · 无响应 · 解析错误 · 日志
25
案例实战一：自动上下片
机械手联动 · 真空检测 · 对准
26
案例实战二：批量监控
多批次并行 · 产量统计 · OEE
27
案例实战三：远程诊断
远程登录 · 日志拉取 · 参数调整
28
案例实战四：与AGV对接
到位信号 · 自动开门 · 晶圆盒交接
29
项目文档与规范
代码注释 · API文档 · 操作手册
30
课程总结与展望
核心回顾 · E157/E164 · 进阶路径
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