📘 尼康S206D · 传动系统
30章 精密机械
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从传动架构到纳米级调焦
01
光刻机传动系统概述
整机
S206D架构
传动角色
精密运动控制
02
精密导轨系统
核心
气浮导轨
交叉滚柱
预紧润滑
03
直线电机驱动
驱动
音圈vs直线
S206D参数
推力波动补偿
04
滚珠丝杠副
传动
C3级精度
双螺母预紧
热伸长补偿
05
减速器与联轴器
匹配
谐波减速器
柔性联轴器
背隙消除
06
晶圆台 Wafer Stage
宏微
宏动微动分离
粗动台
精动柔性铰链
07
掩模台 Reticle Stage
同步
同步扫描
双边驱动
防振设计
08
Z轴调焦机构
纳米
压电陶瓷
电容传感器
纳米分辨率
09
气动平衡系统
重力补偿
重力补偿气缸
气浮减振器
空气弹簧
10
真空与洁净传动
特殊环境
真空润滑
磁流体密封
防颗粒
11
光刻机传动系统概述
回顾
S206D架构
传动角色
精密运动控制
12
精密导轨系统
进阶
气浮导轨
交叉滚柱
预紧润滑
13
直线电机驱动
参数
音圈vs直线
S206D参数
推力波动补偿
14
滚珠丝杠副
精度
C3级精度
双螺母预紧
热伸长补偿
15
减速器与联轴器
选型
谐波减速器
柔性联轴器
背隙消除
16
晶圆台 Wafer Stage
宏微
宏动微动分离
粗动台
精动柔性铰链
17
掩模台 Reticle Stage
同步
同步扫描
双边驱动
防振设计
18
Z轴调焦机构
纳米
压电陶瓷
电容传感器
纳米分辨率
19
气动平衡系统
补偿
重力补偿气缸
气浮减振器
空气弹簧
20
真空与洁净传动
密封
真空润滑
磁流体密封
防颗粒
21
光刻机传动系统概述
整机
S206D架构
传动角色
精密运动控制
22
精密导轨系统
导轨
气浮导轨
交叉滚柱
预紧润滑
23
直线电机驱动
驱动
音圈vs直线
S206D参数
推力波动补偿
24
滚珠丝杠副
丝杠
C3级精度
双螺母预紧
热伸长补偿
25
减速器与联轴器
减速
谐波减速器
柔性联轴器
背隙消除
26
晶圆台 Wafer Stage
宏微
宏动微动分离
粗动台
精动柔性铰链
27
掩模台 Reticle Stage
同步
同步扫描
双边驱动
防振设计
28
Z轴调焦机构
纳米
压电陶瓷
电容传感器
纳米分辨率
29
气动平衡系统
平衡
重力补偿气缸
气浮减振器
空气弹簧
30
真空与洁净传动
密封
真空润滑
磁流体密封
防颗粒
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