01
工艺窗口概述
什么是工艺窗口、重要性、构成要素（时间、温度、压力、气体流量）
基础概念
02
工艺窗口验证基础
验证目的与意义、流程框架、输入与输出
流程框架
03
关键工艺参数识别
参数筛选方法、敏感性分析、优先级排序
参数分析
04
实验设计（DOE）入门
DOE基本概念、全因子/部分因子实验、响应曲面法
DOE统计
05
DOE实战
因子选择与水平设定、实验矩阵设计、随机化与区组化
实战设计
06
数据采集与预处理
采集规范、异常值检测、归一化与标准化
数据清洗
07
工艺窗口建模
回归分析、多项式模型、机器学习（随机森林、神经网络）
建模ML
08
模型验证与评估
交叉验证、残差分析、R²与调整R²
评估拟合
09
工艺窗口可视化
等高线图、三维曲面图、重叠等高线图
可视化图形
10
工艺窗口边界确定
规格限与自然限、统计定义、最坏情况分析
边界统计
11
工艺窗口优化
单目标优化（望大/望小/望目）、多目标帕累托前沿
优化帕累托
12
工艺窗口的稳健性设计
田口方法、信噪比、稳健参数设计
稳健田口
13
工艺窗口的监控与预警
控制图（X-bar/R图）、Cpk/Ppk、预警限设定
监控SPC
14
工艺窗口的持续改进
PDCA循环、工艺变更管理、窗口再验证流程
改进PDCA
15
案例：光刻工艺窗口验证
曝光能量与焦距窗口、光刻胶厚度、CD与均匀性
光刻案例
16
案例：刻蚀工艺窗口验证
气体比例与功率窗口、刻蚀速率与选择比、侧壁形貌
刻蚀案例
17
案例：薄膜沉积工艺窗口验证
温度与压力窗口、薄膜应力与均匀性、台阶覆盖
薄膜沉积
18
案例：CMP工艺窗口验证
抛光压力与转速窗口、去除速率与平坦化、缺陷控制
CMP平坦化
19
案例：扩散/退火工艺窗口验证
温度与时间窗口、掺杂浓度与结深、热预算管理
扩散退火
20
工艺窗口文档化
验证报告模板、技术规范编写、知识库建立
文档规范
21
工艺转移中的窗口验证
设备匹配、腔室差异补偿、跨厂区转移策略
转移匹配
22
工艺窗口与良率的关系
窗口大小与良率映射、缺陷密度关联、Cpk与良率模型
良率Cpk
23
先进工艺节点下的窗口挑战
3nm/5nm窗口缩小、EUV随机效应、多重图形化窗口
先进节点
24
工艺窗口的统计基础
正态分布与工艺能力、假设检验、置信区间
统计基础
25
工艺窗口验证中的常见陷阱
过拟合、数据泄露、忽略交互作用、样本量不足
陷阱注意
26
自动化工艺窗口验证
脚本化数据分析、自动化报告、实时监控系统
自动化脚本
27
工艺窗口与设备维护
设备状态影响、预防性维护、腔室清洁后窗口恢复
维护设备
28
工艺窗口的仿真与预测
TCAD仿真、蒙特卡洛模拟、数字孪生技术
仿真数字孪生
29
工艺窗口验证的行业标准
SEMI标准、ISO 9001要求、FAB内部规范
标准合规
30
综合实战项目
从零构建完整工艺窗口验证与优化流程（数据·代码·报告）
实战综合