01
缺陷图谱概述
晶圆制造中的缺陷分类（颗粒、划伤、桥接、空洞、裂纹），缺陷对芯片良率的影响，缺陷图谱在良率管理中的核心作用。
颗粒划伤良率
02
缺陷检测技术基础
光学检测原理（明场/暗场），电子束检测原理，检测设备（KLA、AMAT）的工作模式对比。
明场暗场KLA
03
缺陷图谱数据采集
SEM/EBR图像采集流程，图像分辨率与扫描策略，数据存储格式（TIF、MRC、HDF5）。
SEMHDF5分辨率
04
图像预处理技术
去噪算法（高斯滤波、中值滤波、双边滤波），图像增强（直方图均衡化、对比度拉伸），归一化处理。
去噪直方图归一化
05
缺陷分割与定位
阈值分割（Otsu、自适应阈值），边缘检测（Canny、Sobel），形态学操作（膨胀、腐蚀、开闭运算）。
OtsuCanny形态学
06
特征提取与描述
几何特征（面积、周长、圆度、长宽比），灰度特征（均值、方差、熵），纹理特征（LBP、GLCM）。
LBPGLCM几何
07
缺陷分类与识别
传统机器学习方法（SVM、随机森林、KNN），深度学习基础（CNN结构），迁移学习在缺陷分类中的应用。
SVMCNN迁移学习
08
缺陷图谱数据库构建
数据标注规范（LabelImg、CVAT），数据增强（旋转、翻转、缩放、噪声注入），数据集划分（训练/验证/测试）。
LabelImg数据增强划分
09
模型训练与优化
损失函数选择（交叉熵、Focal Loss），优化器（SGD、Adam、AdamW），超参数调优（学习率、Batch Size）。
Focal LossAdam调优
10
模型评估与验证
混淆矩阵、准确率、召回率、F1-Score，ROC曲线与AUC，交叉验证策略。
混淆矩阵AUC交叉验证
11
缺陷图谱可视化
热力图（Grad-CAM），缺陷分布散点图，良率与缺陷密度趋势图。
Grad-CAM散点图趋势
12
实时缺陷检测系统
边缘计算部署（NVIDIA Jetson、FPGA），推理加速（TensorRT、ONNX），流水线架构设计。
JetsonTensorRT流水线
13
缺陷根因分析
空间分布分析（缺陷聚类），时间序列分析（缺陷爆发检测），工艺步骤关联分析。
聚类时间序列关联
14
良率预测模型
基于缺陷密度的良率模型（Poisson模型），机器学习回归模型（XGBoost、LightGBM），贝叶斯优化。
PoissonXGBoost贝叶斯
15
先进制程缺陷挑战
7nm/5nm节点缺陷类型（EUV随机缺陷、FinFET桥接），高深宽比结构缺陷检测难点。
EUVFinFET高深宽比
16
缺陷图谱与大数据平台
数据湖架构（Delta Lake、Apache Iceberg），ETL流程设计，实时流处理（Kafka、Flink）。
Delta LakeKafkaFlink
17
自动化缺陷分类（ADC）系统
规则引擎设计，深度学习模型集成，人机协同标注流程。
ADC规则引擎人机协同
18
缺陷图谱在CMP工艺中的应用
CMP划伤检测，碟形缺陷分析，铜残留识别。
CMP碟形缺陷铜残留
19
缺陷图谱在光刻工艺中的应用
光刻胶残留检测，套刻精度缺陷，热点（Hotspot）识别。
光刻胶套刻Hotspot
20
缺陷图谱在刻蚀工艺中的应用
侧壁粗糙度检测，微沟槽缺陷，聚合物残留分析。
侧壁微沟槽聚合物
21
缺陷图谱在薄膜沉积中的应用
针孔缺陷检测，薄膜均匀性分析，颗粒污染源追踪。
针孔均匀性污染源
22
多源数据融合
缺陷图谱与量测数据（CD-SEM、Overlay）关联，与电性测试数据（WAT）关联，与良率数据（CP/FT）关联。
CD-SEMWATCP/FT
23
缺陷图谱标准与规范
SEMI标准（SEMI P10、SEMI P18），数据交换格式（JSON、XML），接口协议（SECS/GEM）。
SEMISECS/GEMJSON
24
缺陷图谱在先进封装中的应用
TSV缺陷检测，微凸点缺陷分析，RDL层缺陷识别。
TSV微凸点RDL
25
缺陷图谱在存储器制造中的应用
NAND Flash缺陷类型（字线短路、位线断路），DRAM缺陷（存储单元漏电、电容缺陷）。
NANDDRAM漏电
26
缺陷图谱在功率器件中的应用
SiC衬底缺陷（微管、位错），GaN HEMT缺陷（栅极漏电、电流崩塌）。
SiCGaN位错
27
缺陷图谱在MEMS制造中的应用
悬臂梁断裂检测，腔体密封性缺陷，微流道堵塞分析。
MEMS悬臂梁微流道
28
缺陷图谱自动化报告生成
报告模板设计（PDF/HTML），关键指标仪表盘（KPI Dashboard），异常告警机制。
KPI仪表盘告警
29
缺陷图谱前沿技术
无监督异常检测（GAN、VAE），自监督学习，小样本学习在缺陷检测中的应用。
GAN自监督小样本
30
综合实战项目
从数据采集到良率预测的完整流程，项目交付标准与文档规范，行业案例复盘（某12英寸产线缺陷图谱系统建设）。
实战12英寸交付