第1章
TEM基础与原理
透射电子显微镜发展史 · 电子枪/电磁透镜/成像系统 · 阿贝衍射极限
🔬 原理⚛️ 分辨率
第2章
TEM仪器结构与操作
硬件组成 · 抽真空/加高压/合轴 · 明场/暗场/选区电子衍射
🖥️ 操作⚙️ 硬件
第3章
样品制备基础
为什么必须薄?薄区/导电性/代表性/无污染 · 流程概览
🧪 通用📏 原则
第4章
粉末/纳米颗粒样品制备
分散介质(乙醇/水/丙酮) · 超声参数 · 载网选择 · 滴样干燥
🧴 分散🌐 载网
第5章
块体材料样品制备(机械法)
切割/研磨/抛光 · 凹坑仪 · 离子减薄(PIPS)参数优化
⛏️ 机械⚡ 离子减薄
第6章
聚焦离子束(FIB)制样
Ga离子束溅射/沉积 · 标准流程(保护层/U-cut/提起) · 低电压清洗
🎯 FIB🛡️ 损伤层
第7章
电解双喷减薄
阳极溶解 · 电解液/温度控制 · 电压电流流速 · 穿孔/氧化层
⚡ 电解🧊 金属
第8章
超薄切片与冷冻超薄切片
超薄切片机 · 包埋修块 · 冷冻CEMOVIS · 生物/软材料
🧬 生物❄️ 冷冻
第9章
复型与萃取复型
一级/二级/萃取复型 · 断口分析 · 碳膜萃取复型制备
📋 复型🔍 断口
第10章
特殊样品制备
截面(多层膜/异质结) · 平面 · 含水(环境TEM) · 原位(加热/拉伸/液体池)
⚡ 原位💧 含水
第11章
样品制备常见问题与对策
非晶化/污染/机械损伤/厚度不均/选择性减薄 · 原因与方案
⚠️ 问题🛠️ 对策
第12章
衍射基础与电子衍射花样
布拉格定律 · 倒易空间/爱瓦尔德球 · 单晶/多晶/非晶标定 · 相机常数
📐 衍射🔮 花样
第13章
选区电子衍射(SAED)
选区光阑 · 花样获取 · 对称性分析 · 二次衍射/动力学效应
🎯 SAED🌀 伪像
第14章
会聚束电子衍射(CBED)
盘状花样解读 · 厚度/消光距离测定 · 点群/空间群确定
💿 CBED📏 厚度
第15章
高分辨透射电子显微术(HRTEM)
相位衬度 · 晶格条纹/结构像 · 球差/色差校正 · 图像模拟(多片层法)
🔬 HRTEM🧪 模拟
第16章
扫描透射电子显微术(STEM)
扫描线圈/环形探测器 · BF/HAADF · Z-衬度与原子序数对比
🖼️ STEM⚛️ Z-衬度
第17章
能谱分析(EDS)
X射线产生 · SDD探测器 · 定性/定量(Cliff-Lorimer) · 轻元素挑战
📊 EDS⚡ 定量
第18章
电子能量损失谱(EELS)
磁棱镜/能量过滤器 · 低损/核心损失区 · 元素面分布/化学态
📈 EELS🧪 化学态
第19章
能量过滤透射电子显微术(EFTEM)
能量选择狭缝 · 零损失成像 · 三窗口法元素分布 · 厚度图(log-ratio)
🎨 EFTEM📉 厚度图
第20章
原位TEM技术
加热芯片 · 纳米压痕/拉伸 · 气体/液体反应 · 时间分辨动态观察
🔥 原位⏱️ 动态
第21章
三维重构(电子断层扫描)
单轴/双轴倾转 · 金颗粒对齐 · WBP/SIRT重构 · 缺失楔问题
📐 断层🧊 3D
第22章
图像处理基础
DM3/MRC/TIFF · 直方图调整 · 均值/高斯/中值滤波 · 傅里叶变换
🖼️ 图像🔧 滤波
第23章
定量图像分析
晶格间距(FFT标定) · 颗粒统计(ImageJ) · 应变分析(GPA) · 模拟对比
📏 定量📐 GPA
第24章
衍射数据分析
环状衍射径向积分 · 织构极图 · 取向成像(ASTAR) · NBD应变测量
📊 衍射🧭 织构
第25章
EDS数据分析
谱峰拟合(ML/K/L系列) · ZAF/φ(ρz)修正 · 元素面分布 · 逃逸峰/和峰
📉 EDS⚠️ 伪像
第26章
EELS数据分析
背底扣除(幂律) · ELNES/EXELFS · 积分截面法定量 · 厚度测量
📈 EELS⚖️ 定量
第27章
数据处理软件实战
DigitalMicrograph脚本 · GMS · Velox(Thermo Fisher) · AZtec(Oxford)
💻 软件⚙️ 实战
第28章
数据解释与伪像识别
非晶层/再沉积 · 电子束损伤 · 污染影响 · 真实结构vs伪像
🔍 伪像🧠 判读
第29章
综合案例分析(一)
金属材料(铝合金析出相) · 双喷制样 → HRTEM + EDS 完整流程
🏗️ 金属📋 案例
第30章
综合案例分析(二)
纳米催化剂(Pt/CeO₂) · 粉末制样 → HAADF + EELS 数据关联
🧪 催化📊 关联