01
掩模版台系统概述
光刻机整体架构 · 掩模版台功能定位 · 运动控制系统基本组成
架构定位
02
运动控制基础
伺服电机与驱动器 · 编码器反馈 · PID控制基础
伺服PID
03
掩模版台机械结构
气浮导轨 · 直线电机选型 · 减振与隔振设计
气浮减振
04
运动控制卡与通信
PMAC/ACS控制卡 · EtherCAT总线 · 实时系统与任务调度
EtherCAT实时
05
点位运动与轨迹规划
T型/S型速度曲线 · 电子凸轮 · Look-ahead前瞻算法
轨迹前瞻
06
掩模版台标定与校准
激光干涉仪校准 · 光栅尺校准 · 阿贝误差补偿
标定补偿
07
同步运动与扫描控制
掩模版与晶圆台同步 · 扫描曝光策略 · 抖动与稳定时间
同步扫描
08
振动分析与抑制
振动源分析 · 主动振动控制 · 陷波滤波器设计
振动陷波
09
安全与保护机制
软/硬限位 · 急停逻辑 · 异常处理与状态机
安全状态机
10
上位机软件开发
C#/Python控制界面 · 实时数据采集 · 日志系统设计
上位机C#
11
运动控制算法进阶
前馈控制 · 交叉耦合控制 · 迭代学习控制
前馈迭代学习
12
系统集成与调试
硬件接线检查 · 控制参数整定 · 系统联调流程
集成调试
13
性能测试与评估
定位精度 · 重复定位精度 · 运动轨迹误差分析
精度评估
14
故障诊断与维护
常见故障排查 · 振动信号分析 · 预防性维护策略
诊断维护
15
案例实战：90nm光刻机调试
90nm光刻机掩模版台调试实录
90nm实战
16
案例：先进封装光刻机优化
先进封装光刻机掩模版台优化
封装优化
17
案例：高精度抖动问题解决
高精度掩模版台抖动问题解决
抖动抑制
18
案例：多轴同步运动调优
多轴同步运动控制调优
多轴同步
19
案例：温度漂移补偿
掩模版台温度漂移补偿
温漂补偿
20
案例：高速扫描曝光控制
高速扫描曝光运动控制
高速扫描
21
案例：减振系统设计
掩模版台减振系统设计
减振设计
22
案例：EtherCAT总线调试
EtherCAT总线调试与优化
EtherCAT调试
23
案例：上位机实时监控开发
上位机实时监控系统开发
监控上位机
24
案例：控制卡固件升级适配
运动控制卡固件升级与适配
固件升级
25
案例：安全系统设计与验证
掩模版台安全系统设计与验证
安全验证
26
案例：激光干涉仪安装校准
激光干涉仪安装与校准
干涉仪校准
27
案例：光栅尺信号处理细分
光栅尺信号处理与细分
光栅尺细分
28
案例：运动控制仿真
掩模版台运动控制仿真
仿真建模
29
案例：FPGA快速伺服控制
基于FPGA的快速伺服控制
FPGA伺服
30
案例：全生命周期管理
掩模版台全生命周期管理
生命周期管理