01
SECS/GEM概述
半导体制造自动化简介 · 协议历史与演进 · HSMS vs SECS-I · GEM核心概念
基础概念
02
SECS-II消息结构
数据项详解 · 消息格式 · 流与功能 · 事务处理
消息SECS-II
03
HSMS通信协议
连接建立与断开 · 消息格式 · 会话管理 · 超时重传
传输HSMS
04
GEM状态模型
设备/通信/控制状态模型 · 状态转换图
状态机GEM
05
GEM基础能力
远程命令 · 变量(SVID/EVID/VID) · 报警 · 事件通知
基础命令
06
GEM高级能力
配方管理 · 材料管理 · 数据收集计划 · 追溯与日志
高级配方
07
开发环境搭建
Python环境 · 开源库(secsgem) · 模拟器使用
环境工具
08
第一个SECS连接
建立HSMS连接 · 发送/接收SECS-II · 解析消息
实战连接
09
实现GEM状态机
设备状态模型编码 · 状态转换 · 同步机制
状态机编码
10
变量与数据收集
定义SVID/EVID · 变量查询上报 · 数据收集计划
变量DC
11
报警与事件处理
定义报警/事件ID · 报警上报 · 事件订阅通知
报警事件
12
远程命令实现
定义命令列表 · 解析执行 · 完成状态上报
远程命令RCMD
13
配方管理实战
配方数据结构 · 上传下载 · 验证激活
配方PP
14
材料管理实战
材料状态跟踪 · 消耗上报 · 位置管理
材料物料
15
追溯与日志实现
追溯数据收集 · 日志生成 · 数据上报
追溯Trace
16
异常处理与容错
通信异常 · 超时重试 · 状态不一致恢复
容错异常
17
性能优化
消息批处理 · 连接池 · 数据压缩缓存
性能优化
18
安全机制
TLS/SSL加密 · 身份认证 · 完整性校验
安全加密
19
多设备管理
多连接管理 · 设备分组路由 · 负载均衡
多设备集群
20
测试策略
单元/集成/模拟/压力测试
测试质量
21
调试技巧
日志分析 · Wireshark抓包 · 断点调试 · 问题排查
调试工具
22
文档与规范
接口文档 · 状态图 · 序列图 · 部署文档
文档规范
23
项目实战一：单机设备接入
清洗机/刻蚀机 · 基础GEM能力实现
实战单机
24
项目实战二：多机台集群管理
配方分发 · 数据汇总
实战集群
25
项目实战三：MES系统集成
工单下发 · 生产数据上报
实战MES
26
项目实战四：远程监控与诊断
实时报警 · 远程控制
实战监控
27
项目实战五：数据分析与可视化
OEE计算 · 看板展示
实战数据
28
项目实战六：高可用架构设计
主备切换 · 数据持久化
实战高可用
29
项目实战七：模拟→生产迁移
部署要点 · 运维实践
实战部署
30
总结与展望
协议未来趋势 · SEMI E37/E5融合 · 职业发展
趋势职业