01
半导体设备通讯概述
半导体制造流程简介 · 设备通讯的重要性 · 常见通讯协议概览(SECS/GEM、HSMS、TCP/IP)
基础概念
02
SECS/GEM协议基础
SECS-I与SECS-II的区别 · GEM标准核心概念 · 消息结构(Header & Body)
协议SECS
03
HSMS协议详解
HSMS连接建立与断开 · 数据交换机制 · 会话管理与超时处理
HSMS传输
04
开发环境搭建
Python环境配置 · PySECSGEM库安装 · 模拟器(Simulator)使用入门
环境Python
05
第一个通讯程序
使用PySECSGEM建立HSMS连接 · 发送与接收SECS消息 · 日志记录与调试
实战入门
06
SECS-II消息编码
消息类型(Stream & Function) · 数据项格式 · 列表与嵌套结构
编码SECS-II
07
GEM状态机模型
设备状态(Equipment Constants) · 状态转换 · 事件通知
状态机GEM
08
变量与数据收集
设备变量 · 数据收集计划(DCP) · 实时数据上报
数据DCP
09
报警与异常处理
报警定义(Alarm) · 报警上报流程 · 异常恢复机制
报警异常
10
远程控制命令
远程命令定义 · 命令执行流程 · 响应处理
控制远程
11
配方管理
配方上传与下载 · 配方验证 · 配方ID管理
Recipe管理
12
物料追踪
物料标识 · 物料状态上报 · 物料位置追踪
物料追踪
13
设备参数配置
参数读写 · 参数范围校验 · 参数持久化
参数配置
14
日志与追溯
通讯日志记录 · 日志级别管理 · 日志分析工具
日志调试
15
多设备并发通讯
多连接管理 · 线程安全 · 资源竞争处理
并发多线程
16
性能优化
消息压缩 · 批量传输 · 连接池技术
性能优化
17
安全机制
TLS/SSL加密 · 身份认证 · 权限控制
安全加密
18
测试与仿真
单元测试框架 · 模拟设备开发 · 压力测试
测试仿真
19
常见通讯故障排查
连接超时 · 消息丢失 · 数据格式错误
故障排查
20
SECS/GEM高级特性
动态事件订阅 · 多数据收集计划 · 自定义消息扩展
高级扩展
21
与MES系统集成
MES接口规范 · 数据映射 · 事务管理
MES集成
22
与EAP系统集成
EAP通讯流程 · 设备控制策略 · 异常处理
EAP集成
23
与RMS系统集成
RMS数据采集 · 实时监控 · 报警联动
RMS监控
24
设备通讯协议对比
SECS/GEM vs OPC UA vs Modbus TCP
对比选型
25
行业标准与规范
SEMI标准体系 · 设备认证流程 · 合规性检查
标准SEMI
26
项目实战:需求分析
设备类型识别 · 通讯需求梳理 · 接口文档编写
实战需求
27
项目实战:架构设计
模块划分 · 通讯层设计 · 数据流设计
架构设计
28
项目实战:编码实现
核心模块开发 · 异常处理 · 单元测试
编码实现
29
项目实战:集成测试
设备联调 · MES对接 · 性能验证
测试集成
30
项目实战:部署与运维
生产环境部署 · 监控告警 · 版本升级
部署运维