01
GaN材料基础
GaN的晶体结构、极化效应、二维电子气(2DEG)的形成机理。
晶体极化2DEG
02
GaN HEMT器件原理
器件结构、工作原理、阈值电压调控、电流崩塌效应。
HEMT阈值电流崩塌
03
MOCVD外延生长技术
反应原理、生长参数控制、缓冲层设计、异质结界面优化。
MOCVD外延缓冲层
04
GaN-on-Si衬底技术
Si衬底选择、应力管理、翘曲控制、大尺寸外延挑战。
Si衬底应力翘曲
05
欧姆接触工艺
Ti/Al/Ni/Au金属体系、退火条件优化、接触电阻率测试、传输线模型(TLM)。
欧姆接触TLM退火
06
肖特基接触与栅极工程
Ni/Au栅极工艺、栅漏电抑制、凹槽栅技术、p-GaN栅极。
肖特基凹槽栅p-GaN
07
隔离工艺
台面隔离(Mesa)、离子注入隔离、隔离漏电分析。
台面隔离离子注入漏电
08
钝化与表面处理
SiNx钝化层、Al2O3介质、表面态钝化、场板技术。
SiNxAl2O3场板
09
Si基GaN功率器件工艺集成
工艺流程设计、关键工艺模块、光刻对准策略。
工艺集成光刻模块
10
GaN射频器件工艺
T型栅工艺、空气桥、背孔接地、fT/fmax优化。
T型栅空气桥fT/fmax
11
GaN-on-Diamond衬底技术
金刚石衬底键合、热管理、应力控制。
金刚石热管理键合
12
GaN垂直型器件
垂直型HEMT、垂直型MOSFET、电流孔径、衬底去除。
垂直型MOSFET电流孔径
13
GaN单片集成技术
逻辑与功率集成、驱动集成、电平位移。
单片集成驱动电平位移
14
GaN器件可靠性
栅极可靠性、高温工作寿命(HTOL)、动态导通电阻退化。
可靠性HTOL动态导通
15
GaN器件测试技术
DC测试、脉冲I-V测试、负载牵引测试、开关测试。
DC测试脉冲I-V负载牵引
16
GaN器件建模
小信号模型、大信号模型、热模型、陷阱模型。
小信号大信号陷阱模型
17
GaN功率放大器设计
负载牵引设计、匹配网络、稳定性分析、线性化技术。
功放匹配线性化
18
GaN开关电源应用
DC-DC转换器、图腾柱PFC、LLC谐振变换器、驱动设计。
DC-DCPFCLLC
19
GaN在5G通信中的应用
基站功放、毫米波器件、相控阵系统。
5G毫米波相控阵
20
GaN在雷达中的应用
有源相控阵雷达、T/R组件、脉冲功率。
雷达T/R组件脉冲功率
21
GaN在航空航天中的应用
抗辐射设计、高温封装、可靠性验证。
抗辐射高温封装可靠性
22
GaN在汽车电子中的应用
车载充电器(OBC)、DC-DC转换器、牵引逆变器。
OBC牵引逆变器汽车
23
GaN在快充中的应用
高频化设计、小型化、热管理、协议兼容性。
快充高频热管理
24
GaN器件封装技术
QFN封装、嵌入式封装、双面散热、烧结银工艺。
QFN双面散热烧结银
25
GaN器件失效分析
失效模式、物理分析技术、FIB、TEM、失效根因分析。
失效分析FIBTEM
26
GaN工艺良率提升
缺陷控制、在线监测、统计过程控制(SPC)、良率模型。
良率SPC缺陷控制
27
GaN工艺仿真
TCAD仿真、工艺建模、器件仿真、工艺窗口优化。
TCAD工艺建模窗口优化
28
GaN器件版图设计
版图规则、寄生参数优化、热分布设计、ESD保护。
版图寄生参数ESD
29
GaN工艺洁净室管理
洁净室等级、颗粒控制、化学品安全、静电防护。
洁净室颗粒控制静电防护
30
GaN技术前沿与展望
Ga2O3、AlN、氮化物异质集成、AI辅助工艺优化。
Ga2O3AlNAI工艺