01
半导体制造与数据
晶圆厂数据生态全景 · 采集挑战与价值 · 课程目标与路径
全景价值
02
设备联网基础
SECS/GEM协议 · HSMS通信 · IP与端口配置实战
SECS/GEMHSMS
03
数据采集环境搭建
Python环境 · pysecs库 · 模拟器与测试工具
环境pysecs
04
SECS消息解析
Message结构 · Stream/Function · Item数据类型 · 编解码
消息编解码
05
连接设备与收发消息
HSMS连接 · S1F1/S1F2 · 心跳机制
连接S1F1
06
数据采集实战
采集SV/ECID · 批量策略
SVECID
07
数据清洗基础
缺失值 · 异常值 · 去重 · 时间戳对齐
清洗对齐
08
数据清洗进阶
滑动窗口 · 规则过滤 · 报警关联 · 质量评分
滑动窗口评分
09
数据存储与归档
CSV · SQLite/InfluxDB · 压缩归档
存储归档
10
数据可视化与监控
实时仪表盘 · 趋势图 · OEE计算
可视化OEE
11
多设备协同采集
多线程架构 · 设备组管理 · 数据汇聚
多线程协同
12
数据安全与权限
加密传输 · 权限管理 · 审计日志 · GDPR
安全GDPR
13
异常处理与恢复
断线重连 · 离线处理 · 缓存补采
重连补采
14
性能优化
采集频率 · 批量消息 · 内存管理 · 异步IO
优化异步
15
实战项目一
单台刻蚀机数据采集与清洗
刻蚀机实战
16
实战项目二
光刻区多设备数据汇聚与清洗
光刻汇聚
17
实战项目三
CMP设备数据质量监控看板
CMP看板
18
实战项目四
基于清洗数据的设备故障预测(基础版)
故障预测ML
19
SECS/GEM进阶
自定义S/F · 配方管理 · 报警管理
进阶配方
20
数据清洗高级技巧
ML异常检测 · 时间序列插值 · 多源融合
ML融合
21
数据治理与标准化
数据字典 · 元数据 · 数据血缘
治理血缘
22
边缘计算与数据采集
边缘节点 · 预处理下沉 · 边云协同
边缘协同
23
OPC UA与SECS/GEM桥接
协议转换 · 统一模型 · 异构集成
OPC UA桥接
24
数据采集系统架构设计
微服务 · Kafka · Flink入门
架构流处理
25
数据质量度量与报告
完整性 · 准确性 · 及时性 · 一致性
质量度量
26
自动化测试与CI/CD
单元测试 · 集成测试 · 持续部署
CI/CD测试
27
案例分享：12英寸晶圆厂
数据采集平台建设实录
案例12英寸
28
案例分享：老旧设备改造
老旧设备数据采集改造实战
改造实战
29
未来趋势
SEMI EDA · APC · 数字孪生
趋势数字孪生
30
课程总结与进阶路径
知识体系 · 学习资源 · 社区与认证
总结进阶