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半导体设备实战开发
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课程目录
01
《兆声波清洗设备实战工艺》
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02
《光刻机光源系统设计与调试实战》
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03
《光刻机对准系统误差补偿技术》
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04
《光刻机掩模版台运动控制实战》
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05
《刻蚀设备等离子体源深度解析》
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06
《刻蚀设备终点检测算法开发实战》
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07
《刻蚀设备腔室压力控制与调优实战》
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08
《封装设备倒装焊工艺参数优化》
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09
《封装设备晶圆级封装工艺实战》
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10
《检测设备光学缺陷检测算法实现》
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11
《检测设备电子束检测系统搭建实战》
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12
《沉积设备化学气相沉积热场仿真》
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13
《沉积设备原子层沉积工艺开发实战》
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14
《沉积设备薄膜均匀性控制精讲》
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15
《清洗设备湿法刻蚀槽体设计实战》
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16
《离子注入设备剂量均匀性校准实战课程》
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17
《离子注入设备束流光学系统设计》
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18
《离子注入设备离子源寿命提升方法》
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19
《自动化设备晶圆传输机械手控制》
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20
《自动化设备端软件架构设计实战》
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