ESD保护器件设计与仿真验证

📚 共计 30 章节
01
ESD基础概念
静电放电现象 · ESD危害 · 失效机理与模式
基础失效分析
02
ESD测试模型
HBM · MM · CDM · IEC 61000-4-2
标准模型
03
ESD保护设计原则
基本思想 · 保护窗口 · 关键参数
设计窗口
04
二极管ESD保护结构
PN结 · 齐纳 · 肖特基 · 二极管串/堆叠
二极管堆叠
05
双极型ESD保护结构
NPN · SCR · LVTSCR
双极SCR
06
MOS型ESD保护结构
GGNMOS · GCNMOS · 堆叠MOS
MOS栅耦合
07
先进ESD保护结构
双向SCR · 混合模式 · SOI保护
先进SOI
08
ESD保护电路设计
电源轨钳位 · I/O保护 · 多电源域
电路钳位
09
ESD保护器件版图设计
版图规则 · 接触孔/金属 · 镇流电阻 · 对称性
版图镇流
10
ESD仿真基础
TCAD简介 · SPICE简介 · 仿真挑战
仿真TCAD
11
TCAD器件仿真
Sentaurus/Athena · 结构/掺杂/网格
TCAD网格
12
TCAD电学仿真
I-V · 击穿 · 触发 · 保持特性
电学击穿
13
TCAD热仿真
自热效应 · 温度分布 · 热失效 · 热阻
自热
14
TCAD瞬态仿真
TLP · HBM · CDM · 瞬态响应
瞬态TLP
15
SPICE紧凑模型
SPICE模型类型 · 子电路 · Verilog-A
SPICEVerilog-A
16
SPICE电路级仿真
ESD网络 · 电源钳位 · 全芯片仿真
电路级全芯片
17
TLP测试与仿真关联
TLP原理 · 数据分析 · 校准方法
TLP校准
18
HBM仿真验证
HBM标准 · 仿真设置 · 阈值预测 · 对比
HBM验证
19
CDM仿真验证
CDM标准 · 挑战 · 方法 · 失效分析
CDM失效
20
系统级ESD仿真
IEC 61000-4-2 · 耦合路径 · 防护 · 仿真
系统级IEC
21
ESD保护器件设计实例
低压/高压/高速I/O保护设计
实例I/O
22
先进工艺节点ESD挑战
FinFET · 先进策略 · 工艺缩放影响
FinFET缩放
23
ESD与闩锁效应
闩锁机理 · ESD引发 · 测试 · 防护
闩锁可靠性
24
ESD鲁棒性优化
多指 · 镇流 · 触发均匀性 · 工艺优化
优化鲁棒性
25
ESD设计窗口分析
窗口定义 · 边界 · 裕量 · 优化策略
窗口裕量
26
ESD保护器件可靠性
老化 · 重复应力 · 可靠性权衡
可靠性老化
27
ESD设计流程与方法
规范 · 检查清单 · 评审流程
流程规范
28
ESD仿真工具与平台
商用/开源工具 · 流程自动化
工具自动化
29
ESD案例分析
失效案例 · 改进案例 · 仿真成功案例
案例实战
30
ESD发展趋势
新兴技术 · AI应用 · 标准演进
趋势AI