01
MOCVD安全总论
工艺概述 · 安全文化 · 法规标准 · PPE基础
安全文化法规
02
源瓶基础知识
类型结构 · MO源/氢化物 · 标识标签 · 存储运输
源瓶标识
03
气体管路系统概述
SS316L EP管 · VCR接头 · 气动阀 · MFC
管路阀门
04
气柜与歧管设计
气柜结构 · 歧管布局 · 吹扫/抽真空 · ESD
气柜ESD
05
惰性气体系统
N₂/Ar供应 · 纯化器 · 露点监测 · 吹扫流程
惰性气体纯化
06
真空系统
干泵/分子泵 · 真空计 · 管路检漏 · 工艺影响
真空检漏
07
尾气处理系统
颗粒过滤器 · 洗涤塔 · 燃烧/催化氧化 · 排放监测
尾气环保
08
气体侦测与报警系统
点式/开路式 · 电化学/红外 · 低报/高报 · 联动控制
侦测报警
09
源瓶更换标准流程 (上)
准备工作 · PPE · 管路压力确认 · 气动阀检查
更换准备
10
源瓶更换标准流程 (中)
吹扫循环(PFC) · 隔离拆卸 · 新瓶安装密封
PFC安装
11
源瓶更换标准流程 (下)
泄漏测试 · 管路conditioning · 恢复记录
泄漏测试记录
12
泄漏检测技术
肥皂泡法 · 压力衰减 · 氦质谱 · 卤素检漏
检漏灵敏度
13
管路吹扫与净化
PFC参数 · 吸附解吸 · 加热烘烤 · 颗粒控制
吹扫净化
14
MO源瓶操作专项
易燃自燃 · bubbler结构 · 恒温浴槽 · 蒸汽压
MO源bubbler
15
氢化物源瓶操作专项
AsH₃/PH₃毒性 · 腐蚀钝化 · 负压源瓶 · 稀释气体
氢化物毒性
16
掺杂剂源瓶操作专项
Cp₂Mg/DEZn · 低蒸气压 · 加热保温
掺杂剂加热
17
紧急情况响应
泄漏 · 破裂 · 火灾 · 断电 · 疏散急救
应急响应
18
个人防护装备(PPE)详解
SCBA · 防护服 · 防化手套 · 穿戴顺序
PPESCBA
19
锁定/挂牌(LOTO)程序
能量隔离 · LOTO设备 · 上锁/解锁 · 多人协调
LOTO安全
20
气体管路维护与保养
检漏计划 · 阀门垫片更换 · MFC校准 · 内壁清洁
维护校准
21
记录与文档管理
源瓶台账 · 更换记录 · 测试报告 · 电子化管理
文档台账
22
安全培训与考核
培训矩阵 · 实操考核 · 复训 · 应急演练
培训考核
23
风险评估与JSA
作业安全分析 · 风险矩阵 · 控制措施 · MOC
JSA风险
24
化学品安全技术说明书(SDS)
SDS解读 · GHS标签 · 应急措施 · 存储相容性
SDSGHS
25
防静电与防爆
静电危害 · 接地跨接 · 防爆区域 · 本安设备
防爆静电
26
洁净室行为规范
洁净等级 · 着装 · 颗粒控制 · 物料进出
洁净室规范
27
MOCVD设备安全联锁
舱门互锁 · 源柜互锁 · 气流/温度互锁 · 旁路
互锁安全
28
废弃物处理
废源瓶 · 废过滤器 · 废液 · 环境合规
废弃物环保
29
案例分析
典型事故 · 管路泄漏 · 人为失误 · 改进措施
案例教训
30
综合实操考核
模拟更换 · 泄漏测试 · 应急演练 · 口试笔试
考核实操