01
半导体设备自动化概述
半导体制造流程简介 · 自动化在Fab厂中的角色 · 设备自动化层级模型（CIM/MES/PLC）
基础CIM
02
SECS/GEM协议基础
SECS-I与SECS-II协议介绍 · HSMS通信机制 · GEM标准功能集 · 设备状态模型
通信SEMI
03
PLC与运动控制
PLC选型与硬件架构 · 梯形图与结构化文本编程 · 伺服/步进电机控制 · 气动液压集成
PLC运动控制
04
上位机软件开发（C#/Python）
OPC UA/Modbus TCP通信 · 数据采集与日志 · UI设计原则 · 多线程与异步处理
C#Python
05
数据采集与传感器技术
温度/压力/流量传感器选型 · 模拟量数字量处理 · DAQ系统 · 信号滤波与抗干扰
传感器DAQ
06
设备状态监控与报警系统
设备状态定义(Idle/Running/Alarm/Error) · 报警优先级与分级 · 历史追溯 · 声光联动
监控报警
07
Recipe管理与配方下发
Recipe文件格式(XML/JSON/CSV) · 编辑校验 · 上传下载流程 · 版本控制与回滚
Recipe版本
08
设备参数监控与SPC
关键工艺参数(CPK/PPK) · 实时数据图表 · 统计过程控制原理 · 控制图与异常检测
SPC质量
09
EAP（设备自动化程序）开发
EAP架构与功能模块 · 与MES接口设计 · SECS/GEM交互 · 高可用性设计
EAP中间件
10
MES系统集成
MES核心功能(工单/批次/物料) · 与EAP数据流 · 与ERP集成 · 实施案例
MES集成
11
RFID与物料追踪
RFID标签与读写器选型 · 物料载具(FOUP/FOSB)识别 · 路径追踪 · MES数据同步
RFID物流
12
机器人自动化（AMHS）
天车系统(OHT)原理 · AGV调度 · 机械手控制 · 物料搬运效率优化
AMHS机器人
13
设备预防性维护（PM）
PM计划制定与执行 · 触发条件(时间/次数/状态) · 工单管理 · 数据记录与分析
维护PM
14
设备故障诊断与根因分析
故障树分析(FTA) · FMEA · 基于数据的故障诊断 · 专家系统与知识库
诊断FTA
15
数据可视化与Dashboard
实时看板设计 · 历史趋势图 · KPI展示(OEE/MTBF/MTTR) · Web/移动端
可视化Dashboard
16
OEE计算与分析
三大要素(可用性/性能/质量) · 数据采集与计算 · 损失分析 · 提升策略
OEE效率
17
虚拟化与容器化部署
Docker容器技术 · Kubernetes集群 · 边缘计算节点 · 虚拟化设备模拟
DockerK8s
18
工业物联网（IIoT）平台
MQTT协议 · 边缘网关与预处理 · 云平台(AWS/Azure/阿里) · 设备影子与数字孪生
IIoTMQTT
19
网络安全与数据安全
工控安全威胁 · 防火墙与网络隔离 · 数据加密与身份认证 · 安全审计与合规
安全加密
20
设备模拟器开发
SECS/GEM模拟器 · PLC模拟器 · 传感器数据模拟 · 测试与培训应用
模拟测试
21
自动化测试与验收
FAT/SAT · 测试用例设计 · 自动化测试框架(Robot Framework) · 验收流程
测试验收
22
设备日志分析与大数据
日志收集(ELK Stack) · 结构化存储 · 异常模式识别 · 机器学习应用
ELK大数据
23
远程监控与运维
远程桌面与VPN · 报警通知(短信/邮件/微信) · 远程固件升级 · 诊断与恢复
远程运维
24
设备校准与精度管理
校准周期与标准 · 校准数据记录 · 精度补偿算法 · 校准证书管理
校准精度
25
能源管理与节能
设备能耗监测 · 能耗数据分析 · 节能策略(待机/休眠/变频) · ISO 50001
能源节能
26
设备生命周期管理
设备采购与验收 · 台账管理 · 折旧与报废 · 性能退化分析
生命周期资产
27
半导体行业标准与规范
SEMI标准体系 · 安全规范(S2/S8) · 环境规范(S23) · 数据格式规范(E系列)
SEMI标准
28
自动化项目实战（一）
需求分析 · 系统架构设计 · 硬件选型采购 · 软件开发与集成
实战项目
29
自动化项目实战（二）
系统部署与调试 · 用户培训与文档 · 验收交付 · 运维支持与持续改进
实战交付
30
未来趋势与前沿技术
AI在半导体制造中的应用 · 数字孪生与虚拟制造 · 5G与工业互联网 · 自主化无人化工厂
AI未来