01
MOCVD尾气处理系统概述
系统定义 · 系统组成 · 工作原理 · 应用场景
基础全景
02
安全规范与防护
个人防护装备(PPE) · SDS · 紧急停机 · 气体泄漏应急
安全必读
03
系统核心部件选型
干式真空泵 · 湿式洗涤塔 · 颗粒过滤器 · 催化氧化 · 吸附塔
选型关键
04
管路设计与布局
管路材质 · 管径计算 · 坡度设计 · 支撑与固定
设计管路
05
电气与控制系统
PLC选型 · 传感器 · 控制逻辑 · HMI界面
电气自动化
06
安装前准备
场地评估 · 地基施工 · 公用工程 · 备件工具清单
准备施工
07
干式真空泵安装
开箱验收 · 安装位置 · 冷却水/氮气 · 电气接线
安装真空泵
08
湿式洗涤塔安装
塔体组装 · 填料装填 · 循环泵 · 液位/pH控制
洗涤塔湿法
09
颗粒过滤器安装
滤芯安装 · 差压变送器 · 排污管路
过滤颗粒
10
催化氧化单元安装
加热器 · 催化剂装填 · 温度传感器 · 安全阀
催化氧化
11
吸附塔安装
吸附剂装填 · 再生管路 · 露点仪
吸附干燥
12
管路连接与气密性测试
法兰连接 · 卡套连接 · 氦检漏 · 保压测试
气密测试
13
电气系统接线
动力电缆 · 信号电缆 · 屏蔽接地 · EMC防护
接线电气
14
控制系统组态
PLC下载 · IO点核对 · PID整定 · 报警值
组态调试
15
HMI画面制作
主画面 · 流程监控 · 报警画面 · 历史趋势
HMI可视化
16
系统联调
单机试车 · 联动试车 · 带载试车 · 性能测试
联调验收
17
工艺气体测试
氢气 · 氮气 · 氨气 · 硅烷测试
气体工艺
18
常见故障排查
真空度不足 · 洗涤效率低 · 过滤器堵塞 · 催化超温
故障维护
19
日常维护保养
日检 · 周检 · 月检 · 季度检 · 年检
保养计划
20
备件管理
易损件清单 · 库存管理 · 采购周期
备件供应链
21
尾气排放监测
在线监测 · 采样点 · 排放标准 · 数据记录
环保监测
22
系统改造与升级
扩容 · 排放升级 · 节能改造
升级改造
23
文档管理
竣工图 · 操作手册 · 维护记录 · 变更管理
文档体系
24
培训与考核
操作培训 · 维护培训 · 应急演练 · 考核标准
培训考核
25
案例分享
LED行业 · 光伏行业 · 化合物半导体
案例实战
26
法规与标准
环保法规 · 职业健康 · 行业标准 · 国际标准
法规合规
27
成本分析
设备投资 · 运行成本 · 维护成本 · 全生命周期
经济分析
28
供应商评估
技术能力 · 交付 · 售后服务 · 案例考察
采购评估
29
未来趋势
新型处理技术 · 智能化运维 · 零排放
前沿趋势
30
课程总结与答疑
知识体系回顾 · 常见问题 · 资源推荐
总结答疑