中芯国际 · 先进工艺DFM设计方法 · 课程目录

📚 共30章 · 点击卡片跳转对应章节 🎯 目录完整 · 工艺DFM全覆盖

什么是DFM为什么需要DFMDFM在流程中的位置中芯国际先进节点

02光刻基础与DFM

光刻原理分辨率增强(RET)OPC光源掩模优化(SMO)

CMP工艺原理密度效应热点检测与修复虚拟填充策略

04刻蚀工艺与DFM

刻蚀原理与类型刻蚀负载效应热点分析与优化刻蚀DFM规则

应力对器件影响应力热点检测缓解技术STI/接触孔优化

06通孔与金属层DFM

通孔覆盖规则最小间距/宽度金属密度均匀性天线效应修复

07器件层次DFM

栅极多晶硅均匀性有源区(OD)规则阱与注入层DFMLOD/WPE效应

良率模型基础随机/系统缺陷关键面积分析良率预测提升

09设计规则检查(DRC)

DRC基础先进工艺DRC规则集违例分类修复DRC sign-off

LVS原理常见问题层次化LVS策略LVS sign-off

11天线效应检查(AEC)

天线效应原理天线比率计算规则检查跳线/二极管法修复

12电迁移与IR Drop

EM原理IR Drop原理分析流程电源网络优化

13寄生参数提取(RC)

寄生参数对时序影响提取工具与方法精度控制后仿真验证

14时序分析与DFM

STA基础DFM对时序影响时序热点修复OCV/AOCV

15信号完整性(SI)与DFM

串扰原理串扰噪声与延迟SI热点检测屏蔽与间距优化

16光刻热点检测与修复

光刻热点类型检测工具修复方法sign-off标准

17CMP热点检测与修复

CMP热点类型密度梯度热点修复流程虚拟填充优化

18刻蚀热点检测与修复

刻蚀热点类型负载热点修复技巧工艺窗口验证

19应力热点检测与修复

应力热点类型仿真方法修复策略版图应力优化

20通孔/金属层热点修复

通孔覆盖热点金属层热点天线效应热点修复自动化

21DFM规则文件解读

中芯国际规则结构规则优先级豁免申请更新管理

22DFM流程集成

RTL-to-GDS集成与物理综合时钟树综合与布线

23DFM工具使用(一)

Calibre DFMDRC+工具LFD工具Litho-Friendly

24DFM工具使用(二)

Mentor OPCverifySynopsys ICVCadence DFM工具对比

25DFM脚本与自动化

Tcl脚本基础自动化流程构建批量热点修复报告生成

26先进节点特殊DFM

FinFET DFMGAA DFMEUV光刻DFM3D IC DFM

27DFM与低功耗设计

低功耗技术影响多阈值电压DFM电源门控DFM衬底偏置DFM

28DFM与模拟/混合信号

模拟电路DFM特殊性匹配性设计敏感节点保护混合信号流程

29DFM sign-off与交付

检查清单报告解读交付物客户要求对接

30DFM案例分析与实战

典型DFM问题案例修复前后对比项目实战演练经验总结展望