01
像差补偿概述
什么是像差补偿?为什么在光学装调中至关重要?补偿策略的总体框架。
基础框架
02
球差补偿
球差产生机理、对成像的影响、装调中补偿球差的方法(轴向移动、非球面补偿)。
球差轴向
03
彗差补偿
彗差产生机理、对成像的影响、装调中补偿彗差的方法(偏心调整、倾斜调整)。
彗差偏心
04
像散补偿
像散产生机理、对成像的影响、装调中补偿像散的方法(柱面镜补偿、透镜组旋转)。
像散柱面镜
05
场曲补偿
场曲产生机理、对成像的影响、装调中补偿场曲的方法(像面弯曲补偿、透镜间距调整)。
场曲像面
06
畸变补偿
畸变产生机理、对成像的影响、装调中补偿畸变的方法(光阑位置调整、对称结构设计)。
畸变光阑
07
色差补偿
色差产生机理(轴向色差、倍率色差)、对成像的影响、装调中补偿色差的方法(双胶合透镜、特殊玻璃)。
色差双胶合
08
波像差与Zernike多项式
波像差概念、Zernike多项式与Seidel像差的对应关系、如何用Zernike系数指导装调。
波像差Zernike
09
干涉测量基础
干涉仪原理、常见干涉仪类型(泰曼-格林、斐索)、干涉图解读。
干涉测量
10
基于干涉仪的像差检测
如何通过干涉图提取Zernike系数、检测精度与误差源。
检测Zernike
11
中心偏与倾斜的补偿
透镜中心偏的测量方法(反射法、透射法)、中心偏与倾斜的补偿策略。
中心偏倾斜
12
空气间隔与镜间距调整
空气间隔对像差的影响、定心仪与测厚仪的使用、间隔调整的实战技巧。
间隔定心仪
13
非球面装调补偿
非球面检测难点、非球面补偿器设计、装调中的对准与补偿。
非球面补偿器
14
多透镜组系统装调
多组元系统的像差分配、逐组装调与系统联调、补偿量的分配策略。
多组元联调
15
温度与应力补偿
温度变化对光学系统的影响、无热化设计、应力双折射的检测与补偿。
无热化应力
16
主动光学与自适应补偿
主动光学元件(变形镜、可变形透镜)、自适应补偿原理、在大型望远镜中的应用。
主动自适应
17
计算机辅助装调(CAA)
CAA的基本流程、灵敏度矩阵的构建、最小二乘优化在装调中的应用。
CAA优化
18
灵敏度矩阵与逆矩阵
灵敏度矩阵的物理意义、如何构建与求解、奇异值分解(SVD)处理病态矩阵。
矩阵SVD
19
装调公差分析
公差分析的目的、蒙特卡洛模拟、公差分配与像差补偿的关系。
公差蒙特卡洛
20
像差补偿的优先级策略
不同像差对系统性能的影响权重、补偿顺序的确定原则、实战中的权衡。
优先级权衡
21
定心仪在装调中的应用
定心仪工作原理、反射像与透射像的判读、定心仪辅助补偿像差。
定心仪判读
22
自准直仪在装调中的应用
自准直仪原理、角度测量与对准、在平行光管装调中的实战。
自准直角度
23
平行光管装调与补偿
平行光管像差要求、分划板位置调整、像差补偿实例。
平行光管分划板
24
望远系统装调与补偿
望远系统像差特点、目镜与物镜的匹配、补偿策略。
望远目镜
25
显微物镜装调与补偿
显微物镜高NA带来的像差挑战、油浸物镜的装调、球差与色差的精细补偿。
显微高NA
26
投影光刻物镜装调
极高精度要求、波像差补偿、多自由度调整机构。
光刻多自由度
27
激光光学系统装调
激光束整形、准直与聚焦、像差对光束质量(M²)的影响。
激光M²
28
红外光学系统装调
红外材料特性、冷反射补偿、无热化装调。
红外冷反射
29
装调中的故障诊断与排除
常见装调问题(像质不佳、星点不圆)、系统化排查方法、案例复盘。
故障排查
30
综合实战案例
从设计到装调的全流程、像差补偿策略的制定与实施、最终性能验证。
实战全流程