01
光学装调概述
光学系统基本概念 · 装调定义与目的 · 在光学制造中的地位 · 课程框架
基础导论
02
光学基础回顾
几何光学三大定律 · 像差基础(球差/彗差/像散/场曲/畸变) · 光学材料特性
几何光学像差
03
常用光学元件
透镜 · 反射镜 · 棱镜 · 滤光片 · 窗口片 · 光栅 功能与典型参数
元件参数
04
装调环境要求
洁净室等级与规范 · 温湿度控制 · 防震台与隔振 · 静电防护(ESD)
环境ESD
05
装调工具与设备 (上)
光学平台 · 调整架 · 夹持器 · 光阑 · 光屏 · 基准尺
工具平台
06
装调工具与设备 (下)
自准直仪 · 经纬仪 · 干涉仪 · 激光跟踪仪 · 测微准直望远镜
仪器测量
07
机械接口与基准
机械基准面 · 光机接口设计 · 螺纹与压圈 · 胶粘与机械固定
机械接口
08
光学元件的清洁与处理
清洁剂选择 · 擦拭方法 · 超声波清洗 · 等离子清洗 · 清洁度检验
清洁工艺
09
光学元件的安装
透镜定心与夹持 · 反射镜安装与应力控制 · 棱镜定位与固定
安装应力
10
光轴定义与建立
光轴概念 · 机械轴与光轴对准 · 基准光轴建立(激光法/自准直法)
光轴基准
11
透射式系统装调 (一)
单透镜装调 · 双胶合透镜装调 · 透镜组同轴性调整
透射同轴
12
透射式系统装调 (二)
变焦系统装调 · 远心光路装调 · 投影物镜装调
变焦远心
13
反射式系统装调 (一)
平面反射镜 · 球面反射镜 · 离轴抛物面镜装调
反射离轴
14
反射式系统装调 (二)
卡塞格林系统 · RC系统 · 离轴三反系统装调
卡塞格林三反
15
分光与合光系统装调
分光棱镜 · 偏振分光镜 · 合束镜 · 光纤耦合装调
分光耦合
16
干涉测量系统装调
迈克尔逊 · 斐索 · 泰曼-格林干涉仪装调
干涉测量
17
成像系统装调
相机镜头 · 显微镜物镜 · 望远系统装调
成像镜头
18
照明系统装调
柯勒照明 · 临界照明 · 均匀照明系统装调
照明均匀性
19
激光系统装调
激光器光路对准 · 扩束镜装调 · 激光合束与指向稳定
激光合束
20
光栅与光谱系统装调
光栅单色仪 · 光谱仪光路 · 光栅外差干涉装调
光谱光栅
21
主动光学与自适应光学装调
变形镜装调 · 波前传感器装调 · 闭环控制光路集成
自适应波前
22
装调中的检测与评价
分辨率板 · 星点检测 · MTF测试 · 干涉图判读
检测MTF
23
像差补偿与优化
调整机构补偿像差 · 计算机辅助装调(CAA)基础
像差CAA
24
光机热集成分析
热变形影响 · 无热化设计 · 有限元分析在装调中的应用
热分析FEA
25
精密对准技术
莫尔条纹对准 · 双光栅对准 · 显微视觉对准 · 激光衍射对准
对准精密
26
装调工艺文件编制
工艺流程图 · 作业指导书(SOP) · 装调记录表 · 检验规范
文件SOP
27
装调中的常见故障与排除
光轴偏移 · 像质下降 · 鬼像与杂散光 · 机械卡滞
故障排除
28
典型系统装调案例 (一)
激光雷达(LiDAR)收发系统装调
LiDAR案例
29
典型系统装调案例 (二)
光刻机投影物镜装调
光刻机物镜
30
课程总结与综合实训
全流程装调演练 · 考核标准 · 职业发展与进阶方向
实训总结