01
VCSEL技术概述
什么是VCSEL · 工作原理 · 应用领域：数据中心、3D传感、激光雷达
基础概念
02
版图设计基础
版图角色 · 设计流程 · 工具介绍：Cadence Virtuoso、KLayout
工具流程
03
VCSEL器件结构解析
P/N DBR · 有源区(量子阱) · 氧化限制层 · 电极与焊盘
器件物理
04
工艺层与设计规则
典型工艺层 · DRC概念 · 衬底/外延/金属/钝化层
工艺规则
05
版图设计环境搭建
Cadence Virtuoso配置 · PDK导入 · 创建Cell/绘制图形
环境实操
06
基础图形绘制
矩形/圆形/多边形 · 图层与属性 · 对齐合并操作
绘图入门
07
VCSEL单孔版图设计(上)
设计目标与参数 · P/N电极版图绘制
单孔电极
08
VCSEL单孔版图设计(下)
氧化窗口 · 焊盘与划片槽 · 合并检查
单孔完整
09
版图验证基础
DRC规则解读 · 运行DRC · 常见错误修复
验证DRC
10
版图寄生参数提取
寄生R/C来源 · QRC/StarRC提取 · 对VCSEL影响
寄生性能
11
VCSEL阵列版图设计(上)
阵列布局策略 · 共阳/共阴 · 间距优化 · 电源地网络
阵列布局
12
VCSEL阵列版图设计(下)
阵列绘制实战 · DRC/LVS验证 · 优化技巧
阵列实战
13
LVS验证
LVS原理与流程 · SVRF规则 · 错误排查修正
LVS一致性
14
版图与原理图一致性检查
网表导出比对 · 短路/断路/器件不匹配案例
检查案例
15
VCSEL高频设计考虑
信号完整性 · GSG焊盘 · 去耦电容布局
高频SI
16
热管理版图设计
热源分布 · 热沉/散热通孔 · 热仿真优化
热散热
17
ESD防护版图设计
ESD原理 · 保护环 · SCR/二极管版图
ESD可靠性
18
版图设计中的光学考虑
出光孔径 · 光学隔离 · 抗反射涂层
光学孔径
19
多层金属互连
金属叠层 · 通孔(Via) · 电流密度/电迁移
互连金属
20
版图自动化脚本入门
Skill语言基础 · 自动化绘制VCSEL · 脚本化DRC修复
脚本Skill
21
Skill脚本进阶
参数化单元(PCell) · 交互式工具 · 调试技巧
进阶PCell
22
VCSEL版图设计实例1
850nm单管 · 数据中心应用 · 指标与版图
实例850nm
23
VCSEL版图设计实例2
940nm阵列 · 3D传感 · 规模与驱动匹配
实例940nm
24
VCSEL版图设计实例3
多结VCSEL · 激光雷达 · 多结串联技巧
实例多结
25
版图数据输出
GDSII格式 · Stream Out · 数据压缩传输
输出GDS
26
版图与光罩制造
光罩流程 · OPC基础 · 数据准备
光罩制造
27
流片前版图检查清单
评审要点 · 可靠性 · DFM检查
检查流片
28
VCSEL测试与版图反馈
晶圆级测试(CP) · 结果关联分析 · 迭代优化
测试反馈
29
行业前沿与趋势
更高功率/更小尺寸 · 3D集成 · 共封装光学
前沿趋势
30
课程总结与项目实战
4x4 VCSEL阵列设计 · 需求到版图全流程复盘
项目综合