第1章
光学检测概述
表面疵病的定义、分类与危害，检测技术发展历程与行业标准体系。
基础标准
第2章
表面疵病基础理论
光的散射与衍射原理，疵病对MTF、杂散光等光学性能的影响机制。
物理原理
第3章
检测标准体系
ISO 10110-7、MIL-PRF-13830B、GB/T 1185-2006 核心内容与对比。
ISO国标
第4章
目视检测法
暗场照明原理、检测环境要求、操作规范与局限性分析。
目视暗场
第5章
显微镜检测法
金相显微镜、干涉显微镜原理与操作，放大倍率与视场校准。
显微校准
第6章
散射检测法
散射光测量原理，积分球法、角度散射法的应用与数据处理。
散射积分球
第7章
机器视觉检测
CCD/CMOS成像、图像采集卡、光源选型与照明方案设计。
视觉光源
第8章
图像预处理
图像去噪、对比度增强、边缘检测 (Sobel/Canny) 原理与实现。
算法边缘
第9章
疵病分割算法
阈值分割、区域生长、分水岭算法在疵病检测中的应用。
分割分水岭
第10章
特征提取与分类
疵病尺寸、形状、深度特征提取，基于SVM/CNN的分类方法。
特征CNN
第11章
激光散射检测法
激光共聚焦扫描、暗场散射成像在高精度检测中的应用。
激光共聚焦
第12章
干涉检测法
移相干涉术、白光干涉术在表面形貌测量中的应用。
干涉形貌
第13章
表面粗糙度检测
触针式轮廓仪、光学轮廓仪原理对比，Ra/Rz/Rq参数计算。
粗糙度轮廓
第14章
疵病尺寸测量
显微标尺校准、像素当量标定、亚像素边缘定位技术。
标定亚像素
第15章
疵病深度测量
共聚焦显微镜、白光干涉仪、原子力显微镜深度测量原理。
深度AFM
第16章
疵病分类标准
划痕、麻点、气泡、破边、开口气泡的定义与判定规则。
分类判定
第17章
划痕检测与判定
划痕宽度、长度、密度计算，划痕等级判定 (S/D、F/N等)。
划痕等级
第18章
麻点检测与判定
麻点直径、密度、分布均匀性评估，麻点等级判定。
麻点均匀性
第19章
气泡与破边检测
气泡尺寸、位置、数量统计，破边深度与角度测量。
气泡破边
第20章
疵病密度与分布评估
单位面积疵病数量、分布均匀性、聚集度分析。
密度分布
第21章
检测系统校准
标准样板、校准片使用，系统重复性与再现性 (GR&R) 分析。
校准GR&R
第22章
检测环境控制
洁净室等级、温湿度控制、防震措施对检测精度的影响。
环境洁净
第23章
检测流程标准化
来料检验、过程检验、出厂检验的流程设计与记录规范。
流程标准化
第24章
数据记录与追溯
检测报告模板、数据存储格式、批次追溯系统设计。
追溯数据
第25章
自动检测系统集成
机械手上下料、自动对焦、自动扫描与判定系统设计。
自动化集成
第26章
深度学习在疵病检测中的应用
CNN、YOLO、U-Net等网络在疵病识别中的实践。
深度学习YOLO
第27章
检测结果统计分析
SPC控制图、Cpk/Ppk计算、缺陷率趋势分析。
SPCCpk
第28章
典型应用案例
手机镜头、激光晶体、光刻掩模版、天文望远镜镜片检测方案。
案例实战
第29章
检测系统选型指南
根据精度要求、检测速度、成本预算选择合适方案。
选型指南
第30章
未来发展趋势
在线检测、AI辅助判定、多模态融合检测技术展望。
趋势AI