第01章
光学薄膜基础
光的波动性 · 干涉原理 · 薄膜干涉条件 · 单层膜反射率 · 光学导纳
波动导纳
第02章
膜系设计数学工具
传输矩阵TMM · 特征矩阵 · R/T计算 · 导纳轨迹图
矩阵TMM
第03章
单层增透膜
1/4波长厚度 · 等效界面 · 最小反射率 · MgF₂ / SiO₂
增透λ/4
第04章
多层增透膜
V型 · W型 · 宽带增透 · 渐变折射率膜系
多层宽带
第05章
高反射膜
λ/4堆栈 · 反射带宽 · 金属 vs 介质反射膜
高反堆栈
第06章
截止滤光片
长波通 · 短波通 · 对称周期 · 等效折射率
截止波通
第07章
带通滤光片
法布里‑珀罗 · 多腔带通 · 半宽度 · 中心波长
带通F-P
第08章
分光膜
中性分光 · 偏振分光 · 消偏振 · MacNeille棱镜
分光偏振
第09章
偏振控制膜
偏振分束 · 消偏振膜 · 相位延迟 · 布儒斯特角
偏振相位
第10章
薄膜材料特性
TiO₂/Ta₂O₅/HfO₂/Al₂O₃ · Ag/Al/Au · 吸收与色散
介质金属
第11章
镀膜工艺基础
热蒸发 · 电子束蒸发 · 溅射 · 离子辅助(IAD)
蒸发溅射
第12章
膜厚监控技术
石英晶体 · 光学极值法 · 宽光谱 · 时间监控
监控极值
第13章
膜系设计软件入门
Essential Macleod · TFCalc · OptiLayer · 基本操作
软件Macleod
第14章
软件优化方法
单纯形 · 共轭梯度 · 遗传算法 · 针式优化 · 全局策略
优化算法
第15章
膜系容差分析
厚度/折射率误差 · 蒙特卡洛 · 灵敏度分析
容差蒙特卡洛
第16章
红外光学薄膜
Ge/ZnSe/ZnS · 红外增透膜 · 红外截止滤光片
红外Ge
第17章
紫外光学薄膜
MgF₂/Al₂O₃/HfO₂ · 紫外增透 · 紫外高反膜
紫外DUV
第18章
激光薄膜
激光损伤阈值 · 减反/高反/偏振膜 · 损伤机理
激光LIDT
第19章
薄膜应力与控制
应力机理 · 压/张应力 · 测量 · 应力补偿
应力形变
第20章
薄膜附着力
附着力机理 · 划痕/拉伸法 · 改善措施
附着力划痕
第21章
非规整膜系设计
Needle优化 · 傅里叶变换 · 合成膜系 · 等效层
Needle合成
第22章
渐变折射率膜
rugate滤光片 · 折射率分布 · 制备挑战 · 应用
rugate渐变
第23章
薄膜光学常数测量
光度法 · 椭偏法 · Cody‑Lorentz · Tauc‑Lorentz
椭偏光学常数
第24章
膜系设计中的色散
Cauchy/Sellmeier/Forouhi‑Bloomer · 色散影响
色散模型
第25章
薄膜微结构
柱状生长 · 填充密度 · 折射率关系 · 退火效应
微结构柱状
第26章
环境稳定性
温湿度 · 热循环 · 附着力老化 · 密封保护
环境老化
第27章
特殊膜系设计
啁啾镜 · G‑T干涉镜 · 负色散镜 · 超快激光膜
啁啾超快
第28章
实战案例1：可见光宽带增透
400‑700nm R<0.5% 设计 · 材料/工艺/验证
实战增透
第29章
实战案例2：双波段红外分光
3‑5μm / 8‑12μm 分光膜 · 设计要点
红外分光
第30章
实战案例3：窄带滤光片
CWL=532nm, FWHM=1nm · 多腔设计
窄带532nm