01
课程导论：亚表面损伤的定义、产生机理与危害
课程整体框架与学习目标，奠定损伤认知基础
基础概念机理
02
光学加工基础：研磨、抛光、磨削
传统加工工艺对亚表面的影响与工艺特征
加工工艺
03
损伤类型与特征：裂纹、划痕、残余应力
相变层、杂质嵌入等典型缺陷辨识
缺陷分类
04
检测技术总览：破坏性 vs 非破坏性
技术分类与对比，选型思路
检测总览
05
破坏性检测法：截面显微、角度抛光、蚀刻
原理与操作步骤详解
破坏性显微
06
非破坏性检测法：激光散射、光热辐射、超声
三大无损检测原理与应用
无损光学
07
磁流变抛光技术
原理、设备及亚表面损伤去除应用
抛光去除
08
离子束修形技术
原理、工艺参数对损伤层去除的影响
离子束修形
09
湿法化学蚀刻：酸蚀、碱蚀配方与窗口
工艺窗口控制与损伤去除
湿法蚀刻
10
等离子体辅助抛光
原理、设备、工艺参数优化
等离子抛光
11
损伤深度评估：角度抛光法深度测量
计算模型与精度分析
深度模型
12
残余应力检测：双折射、拉曼、X射线
多方法对比与适用场景
应力光谱
13
激光诱导损伤阈值
测试方法、影响因素与亚表面缺陷关联
激光阈值
14
光学元件清洗技术
传统清洗与等离子清洗对损伤的影响
清洗等离子
15
加工工艺参数优化
压力、转速、磨料粒径对损伤层的影响
参数优化
16
有限元仿真在损伤分析中的应用
应力场分布与裂纹扩展模拟
仿真有限元
17
损伤数据库与智能诊断
基于机器学习的损伤分类与预测
AI数据库
18
大口径元件检测方案
拼接检测、扫描策略与数据处理
大口径拼接
19
特殊材料损伤特性
KDP晶体、熔石英、微晶玻璃的损伤差异
晶体熔石英
20
镀膜前处理与损伤控制
基底预处理对膜层性能的影响
镀膜前处理
21
在线监测技术
加工过程中的实时损伤检测与反馈控制
在线监测
22
损伤修复技术
激光修复、化学修复与机械修复对比
修复激光
23
标准与规范：ISO 10110、美军标
MIL-PRF-13830等标准解读
标准规范
24
检测系统搭建：光路设计、探测器选型
信号处理与系统集成
系统光路
25
数据处理与可视化
损伤图谱绘制、统计分析与报告生成
数据可视化
26
成本控制与工艺经济性
不同检测与消除方案的成本对比
成本经济
27
工程案例一：高功率激光反射镜
亚表面损伤控制实战
案例反射镜
28
工程案例二：深紫外光刻物镜
零损伤加工方案
光刻零损伤
29
工程案例三：空间光学镜片
轻量化与损伤控制
空间轻量化
30
课程总结与前沿展望
下一代检测技术、智能化加工趋势
前沿总结