01
激光干涉仪概述
发展历史 · 基本原理 · 精密测量/光刻机/引力波探测
基础应用
02
光的干涉基础
波的叠加 · 相干条件 · 杨氏双缝干涉回顾
物理回顾
03
迈克尔逊干涉仪
经典结构 · 条纹形成 · 等倾/等厚干涉
经典结构
04
激光光源特性
单色性 · 相干长度 · 高斯光束 · He-Ne vs 半导体
光源选型
05
核心光学元件
分束镜 · 反射镜 · 补偿板 · 透镜特性与选型
元件光学
06
光电探测与信号处理
PIN/APD原理 · 前置放大 · 滤波整形
电路探测
07
条纹计数与判向
可逆计数 · 四倍频细分 · 判向电路
计数细分
08
相位测量技术
锁相环测相 · 数字相位计 · 正交解调
相位PLL
09
外差干涉仪原理
声光调制器 · 外差信号模型 · 相位解调
外差AOM
10
零差干涉仪原理
数学模型 · 直流漂移 · 交流耦合/PGC
零差PGC
11
干涉仪光路对准
粗调与精调 · 光斑重合 · 可见度优化
调试光路
12
环境因素补偿
温/湿/气压影响 · Edlen公式 · 实时补偿
环境补偿
13
干涉仪误差分析
余弦/阿贝/死程误差 · 非线性抑制
误差分析
14
干涉仪校准方法
波长校准 · 电子学校准 · 线性度/分辨率
校准计量
15
光刻机中的应用
双工件台 · 掩模台定位 · 套刻精度
光刻精密
16
精密机床中的应用
光栅尺替代 · 多轴联动误差补偿
机床数控
17
引力波探测中的应用
LIGO原理 · 法布里-珀罗腔 · 量子噪声
引力波前沿
18
材料科学中的应用
热膨胀系数 · 微位移 · 振动分析
材料测量
19
软件系统架构
数据采集驱动 · RTOS · 上位机设计
软件架构
20
数据处理算法
相位解包裹 · 最小二乘 · 卡尔曼滤波
算法滤波
21
硬件搭建实操
光学平台 · 元件夹持 · 防震措施
实操硬件
22
光路调试实操
激光预热 · 粗调 · 条纹观察优化
实操光路
23
信号调试实操
偏压调节 · 幅度调整 · 噪声抑制
信号调试
24
计数与判向调试
方向验证 · 细分设置 · 抗抖动
计数调试
25
系统联调
光机电协同 · 闭环参数 · 稳定性测试
联调系统
26
常见故障排除
条纹消失 · 计数错误 · 漂移/干扰
故障排查
27
性能指标测试
分辨率 · 重复性 · 最大测量速度
测试指标
28
维护与保养
光学清洁 · 激光器老化 · 电子学校准
维护保养
29
干涉仪发展趋势
微型化 · 片上干涉仪 · 飞秒激光测量
前沿趋势
30
综合实操考核
搭建迈克尔逊干涉仪 · 测量位移 · 实验报告
考核综合