红外窗口材料加工与镀膜技术

📚 共计 30 章节
01
红外窗口材料概述
定义与功能 · 晶体/陶瓷/玻璃分类 · 透过率/折射率/热稳定性/机械强度
基础性能指标
02
蓝宝石 (Al₂O₃) 材料特性
晶体结构 · 光学特性 · 硬度/热导率 · 加工难点
蓝宝石机械特性
03
锗 (Ge) 材料特性
晶体结构 · 红外高透过 · 脆性/热膨胀 · 加工镀膜注意
红外光学
04
硒化锌 (ZnSe) 材料特性
晶体结构 · 宽波段透过 · CO₂激光器应用
ZnSe激光窗口
05
硫化锌 (ZnS) 材料特性
多晶/单晶 · 多光谱透过 · 加工工艺
ZnS多光谱
06
其他红外窗口材料
Si · Ge · MgF₂ · CaF₂ · 尖晶石 特性对比
对比选材
07
红外窗口材料选择原则
应用波段 · 环境条件 · 成本与可加工性
选材原则工程
08
红外窗口毛坯制备
提拉法 · 坩埚下降法 · 陶瓷烧结 · 玻璃熔制
晶体生长毛坯
09
红外窗口切割与成型
内/外圆切割 · 线切割 · 激光 · 超声波 · 磨削
切割成型
10
研磨与抛光
研磨原理 · 机械/CMP抛光 · 粗糙度/面形检测
抛光表面质量
11
倒角与边缘处理
倒角目的 · 边缘抛光 · 镀膜保护
边缘工艺
12
清洗与预处理
有机/等离子/超声波清洗 · 表面活化 · 镀膜前检测
清洗预处理
13
红外窗口镀膜概述
增透/保护/滤波 · PVD/CVD · 基本原理
镀膜基础分类
14
物理气相沉积 (PVD) 技术
蒸发镀膜 · 溅射镀膜 · 离子镀
PVD蒸发溅射
15
化学气相沉积 (CVD) 技术
CVD原理 · 低压CVD · PECVD · MOCVD
CVDPECVD
16
红外增透膜设计
单层/多层 · 宽带设计 · TFCalc / Macleod
增透膜膜系设计
17
红外高反膜设计
金属反射膜(Au/Ag/Al) · 介质反射膜 · 高反膜系
高反膜反射
18
红外滤光膜设计
带通 · 长波通 · 短波通 · 截止滤光膜
滤光膜光谱
19
保护膜与硬质膜
DLC · Si₃N₄ · Al₂O₃ · SiC
保护膜硬质膜
20
镀膜工艺参数控制
真空度 · 基片温度 · 沉积速率 · 膜厚监控
工艺控制监控
21
镀膜缺陷分析与控制
附着力 · 应力 · 均匀性 · 针孔与裂纹
缺陷分析
22
镀膜后处理
退火 · 老化 · 膜层保护与封装
后处理稳定
23
红外窗口质量检测
光学/机械/环境适应性检测
检测标准
24
加工与镀膜常见问题
裂纹 · 崩边 · 膜层脱落/吸收/应力变形
问题对策
25
加工与镀膜案例分析
导弹整流罩 · 热成像仪 · 激光窗口
案例实战
26
加工与镀膜新技术
IBAD · ALD · 飞秒激光 · 磁流变抛光
新技术前沿
27
加工与镀膜设备
研磨抛光机 · 镀膜机 · 分光光度计/干涉仪
设备仪器
28
安全与环保
材料毒性(ZnSe/CdTe) · 化学品安全 · 废气废液
安全环保
29
标准与规范
国标 · 军标 · 行业/企业标准
标准规范
30
发展趋势
大尺寸 · 复杂曲面 · 多功能膜层 · 智能化
趋势未来