第1章
附着力基础
PVD镀膜附着力定义 · 附着力失效模式（界面剥离、内聚破坏）· 附着力测试方法（划格法、拉拔法、划痕法）
定义
失效模式
划格法
拉拔法
划痕法
第2章
基材预处理
基材清洗（化学清洗、超声波清洗、等离子清洗）· 基材表面活化（离子轰击、等离子体处理）· 基材表面粗糙度控制
化学清洗
超声波
等离子清洗
离子轰击
粗糙度
第3章
镀膜工艺参数
沉积温度对附着力的影响 · 沉积速率控制 · 工作气压与气体流量 · 偏压与离子能量
沉积温度
速率控制
工作气压
偏压
离子能量
第4章
过渡层与梯度层
过渡层材料选择（Ti、Cr、NiCr）· 梯度层设计原理 · 多层膜结构优化
Ti
Cr
NiCr
梯度层
多层膜
第5章
后处理与检测
退火处理 · 表面钝化 · 附着力批量检测方法 · 常见附着力问题排查
退火
钝化
批量检测
问题排查