01
真空镀膜设备概述
真空镀膜技术简介 · 设备类型（蒸发/溅射/离子镀）· 核心组成
蒸发镀膜溅射镀膜离子镀
02
真空系统基础
真空度概念与单位 · 区域划分 · 真空泵工作原理
机械泵扩散泵分子泵
03
真空测量与检漏
真空计种类 · 漏点分析 · 氦质谱检漏 · 保压测试
热偶计电离计氦检漏
04
基片清洗与前处理
材料选择 · 化学清洗 · 超声波 · 等离子体 · 烘烤除气
丙酮等离子体除气
05
靶材与蒸发源
靶材选择 · 蒸发源类型 · 安装更换注意事项
磁控溅射电子束电阻蒸发
06
镀膜工艺参数控制
本底真空 · 工作气压 · 基片温度 · 沉积速率 · 膜厚监控
石英晶振光学监控速率
07
膜层均匀性与厚度控制
源-基片距离 · 旋转 · 挡板 · 均匀性测试与补偿
均匀性挡板设计补偿
08
常见膜层缺陷分析
针孔 · 裂纹 · 附着力差 · 颜色不均 · 应力 · 颗粒
附着力应力颗粒污染
09
真空室维护与清洁
清洁周期 · 内壁打磨 · O型圈 · 冷阱与障板
密封圈抛光冷阱
10
真空泵组维护
机械泵换油 · 扩散泵 · 分子泵轴承 · 低温泵再生
换油振动监测再生
11
电源系统维护
直流/射频/中频/脉冲电源 · 电缆接头 · 冷却检查
射频电源中频故障排查
12
控制系统与自动化
PLC · 触摸屏 · 配方管理 · 报警联锁 · 数据记录
PLC自动化联锁
13
安全操作规范
高压安全 · 化学品 · 机械安全 · 应急预案
X射线电击危化品
14
工艺气体与流量控制
气体种类 · MFC原理 · 管路检漏与吹扫
Ar/N2/O2MFC吹扫
15
冷却系统维护
水质要求 · 水压流量 · 冷水机组 · 防冻除垢
冷却水除垢防冻
16
真空阀门与传动机构
闸板阀 · 角阀 · 磁流体密封 · 基片架润滑
波纹管磁流体传动
17
光学镀膜工艺
增透膜 · 高反膜 · 滤光片 · 膜系设计 · 光学常数
增透膜高反膜膜系设计
18
装饰镀膜工艺
颜色Lab · 耐磨耐蚀 · 工艺窗口优化
Lab值耐磨耐腐蚀
19
硬质涂层工艺
TiN/TiAlN/DLC · 电弧vs磁控 · 结合力测试
TiNDLC结合力
20
柔性基材镀膜
卷绕镀膜 · 张力控制 · 收放卷对齐 · 除气
卷绕张力柔性
21
镀膜质量检测方法
附着力 · 硬度 · 膜厚 · 光学性能测试
划格法台阶仪椭偏仪
22
故障诊断与排除
真空度上不去 · 膜层发雾 · 颜色偏移 · 系统排查
排查思路发雾电弧
23
工艺开发与优化
正交实验 · 响应曲面 · 工艺窗口 · 性能关系
DOE响应曲面优化
24
设备安装与调试
场地要求 · 水平调整 · 检漏烘烤 · 工艺验收
地基调水平验收
25
备件管理与库存
关键备件 · 寿命管理 · 供应商管理
密封圈靶材泵油
26
日常点检与预防性维护
日/周/月点检 · 季度维护 · 年度大修
点检预防维护大修
27
镀膜环境控制
洁净室 · 温湿度 · 防静电 · 颗粒控制
洁净室防静电颗粒
28
设备升级与改造
老旧改造 · 离子源辅助 · 控制系统升级 · 节能
离子源升级节能
29
操作人员培训
培训计划 · SOP · 考核标准 · 违规纠正
SOP考核培训
30
行业标准与法规
GB/T · ISO · 环保法规 · CE/UL认证
GB/TISOVOC