扫描电镜能谱分析 · 从入门到精通

📚 共计 30 章节
01
SEM基础原理
电子束与样品交互 · 二次电子/背散射电子 · 基本结构
电子枪透镜系统探测器
02
EDS基础原理
特征X射线 · Si(Li) vs SDD · 能量分辨率与计数率
探测器X射线能谱
03
样品制备入门
导电/非导电样品 · 喷金喷碳 · 污染与损伤控制
导电胶碳带喷金
04
SEM操作入门
开关机流程 · 样品装载 · 加速电压/束流/工作距离
抽真空参数设置操作
05
图像采集基础
二次电子/背散射电子像 · 分辨率与信噪比 · 聚焦像散
SEBSE像散校正
06
EDS能谱采集
采集时间/死时间 · 点分析/面分析/线扫描
定性分析参数模式
07
能谱定性分析
元素识别 · 谱峰重叠(S-Pb,Ti-Ba) · 背景扣除与峰面积
峰标记重叠背景
08
能谱定量分析基础
ZAF校正 · 无标样/有标样 · 误差来源
定量ZAF标样
09
面分布图(Mapping)分析
采集策略 · 元素分布解读 · 伪彩色与叠加
Mapping伪彩色面扫
10
线扫描分析
采集设置 · 浓度分布曲线 · 界面扩散案例
线扫描浓度扩散
11
低真空与环境扫描模式
低真空原理 · ESEM应用 · 含水样品技巧
低真空ESEM环境
12
轻元素分析挑战
C,N,O,F检测难点 · 窗口材料 · 优化策略
轻元素窗口检测
13
微量元素与痕量分析
检测限 · 提高信噪比 · 长时间采集注意事项
痕量信噪比检测限
14
能谱与波谱(WDS)对比
WDS原理 · EDS vs WDS · 技术选择
WDS对比分辨率
15
能谱在失效分析中的应用
断口 · 颗粒物 · 焊接缺陷 · 腐蚀产物
失效分析断口腐蚀
16
能谱在地质与矿物学中的应用
矿物鉴定 · 元素赋存 · 稀土分析
矿物稀土地质
17
能谱在金属材料中的应用
合金成分 · 相鉴定 · 夹杂物 · 镀层厚度
金属夹杂物镀层
18
能谱在电子材料中的应用
半导体器件 · 焊点可靠性 · 薄膜成分
电子焊点薄膜
19
能谱在生物与医学中的应用
生物组织元素 · 植入材料 · 药物颗粒
生物医学植入
20
能谱在环境与法医中的应用
大气颗粒物 · 土壤污染 · 油漆碎片
环境法医颗粒物
21
能谱数据后处理与报告
Aztec/Genesis/INCA · 谱图平滑拟合 · 报告规范
软件后处理报告
22
能谱分析中的常见误区
误判峰位 · 干扰峰 · 微量信号 · 制备假象
误区干扰假象
23
能谱仪校准与维护
能量校准(Cu,Mn,Co) · 窗口维护 · 液氮/电制冷
校准维护制冷
24
能谱分析中的统计与误差
计数统计误差 · 标准偏差 · 置信区间
统计误差置信
25
能谱与X射线衍射(XRD)联用
物相鉴定与成分互补 · 案例分析
XRD联用物相
26
能谱与拉曼光谱联用
分子结构+元素信息 · 有机无机复合材料
拉曼联用有机
27
能谱与EBSD联用
晶体取向与成分 · 微区织构分析
EBSD织构取向
28
自动化与人工智能
自动颗粒分析(APA) · 机器学习谱图识别
AI自动化APA
29
能谱分析标准与方法标准
ISO 22309 · ASTM E1508 · GB/T 17359
标准ISOASTM
30
综合案例分析
样品制备到数据解读 · 问题排查 · 高级技巧
综合案例高级