01
EDS基础原理
X射线产生机制 · 特征X射线与连续X射线 · SDD/Si(Li)探测器 · 能量分辨率
原理探测器
02
能谱仪硬件构成
探测器 · 脉冲处理器 · 多道分析器 · 液氮 vs 电制冷
硬件制冷
03
样品制备技巧
导电/不导电处理 · 喷碳喷金 · 截面制备 · 离子抛光 · 避免污染
制样导电
04
能谱采集参数设置
加速电压 · 束流 · 工作距离 · 采集时间 · 死时间＜30%
参数死时间
05
点分析实战
定点选取 · 避开污染 · 峰识别 · 轻元素(C,N,O)注意事项
点分析轻元素
06
线扫描分析
线扫描原理 · 路径规划 · 空间分辨率 · 数据平滑与去噪
线扫描分辨率
07
面分布图分析
面扫参数 · 像素/驻留时间 · 伪彩色映射 · 叠加显示
Mapping伪彩
08
定性分析
元素峰识别 · 逃逸峰/和峰 · 重叠峰处理 · 背景扣除
定性重叠峰
09
定量分析基础
ZAF校正 · Phi-Rho-Z · 标准样品法 vs 无标样法
定量ZAF
10
轻元素分析
Be~F特殊处理 · 窗口吸收 · 峰重叠(N/Ti等)
轻元素窗口
11
微量元素分析
检测限 · 提高信噪比 · 长时采集策略
微量信噪比
12
能谱与能谱对比
不同区域谱图叠加 · 归一化 · 差异谱分析
对比差异谱
13
Mapping数据处理
元素分布图导出 · ImageJ/PS伪彩 · 相关性分析
MappingImageJ
14
线扫描数据处理
导出Excel/Origin · 浓度曲线 · 扩散层厚度计算
线扫描Origin
15
能谱数据库与标准谱图
NIST数据库 · 实验室标准谱库 · 谱图匹配
数据库标准谱
16
常见假象与伪峰
电子束损伤 · 样品漂移 · 充电效应 · 窗口污染 · 探测器饱和
假象伪峰
17
低真空/环境SEM-EDS
含水样品 · 气压影响 · Peltier冷台使用
低真空环境
18
能谱与EBSD联用
成分与晶体学关联 · 相鉴定 · 元素+取向叠加
EBSD联用
19
薄膜与涂层分析
薄膜厚度估算 · 界面扩散 · 多层膜深度分析
薄膜涂层
20
颗粒与夹杂物分析
小颗粒定位 · 束斑匹配 · 基体干扰扣除
颗粒夹杂物
21
生物样品EDS分析
冷冻干燥 · 临界点干燥 · 导电染色 · 低电压策略
生物低电压
22
地质样品EDS分析
矿物鉴定 · 元素面分布 · 稀土元素挑战
地质稀土
23
金属材料EDS分析
偏析分析 · 析出相鉴定 · 断口微区成分
金属断口
24
陶瓷与玻璃EDS分析
绝缘样品处理 · Na迁移 · 轻元素定量
陶瓷玻璃
25
失效分析中的EDS
断口腐蚀产物 · 焊点IMC层 · 异物成分鉴定
失效分析IMC
26
能谱质量控制
标准样品校验 · 能量校准 · 分辨率测试 · 重复性
质控校准
27
能谱报告撰写
谱图导出规范 · 数据表格 · 分析结论 · 常见错误
报告规范
28
自动化与批量分析
脚本控制采集 · 自动定性定量 · 批量处理
自动化批量
29
能谱新技术
快速Mapping · TKD-EDS · 原位加热/拉伸 · 低温EDS
新技术原位
30
综合案例分析
问题定义→制样→采集→分析→报告全流程实战
综合实战