第1章
EDS能谱基础
X射线产生原理 · 特征X射线与连续X射线 · EDS探测器工作原理 · 能谱仪结构组成
原理探测器
第2章
能谱干扰来源
峰位重叠(Fe Kα/Mn Kβ) · 逃逸峰 · 和峰 · 硅漂移探测器伪峰 · 电子束相互作用
重叠伪峰
第3章
干扰识别方法
峰位查表法 · 半高宽分析 · 峰形拟合 · 导数光谱法 · 机器学习辅助识别
识别拟合
第4章
干扰消除策略
数学剥离法(线性/非线性拟合) · 滤波处理(小波/Savitzky-Golay) · 峰面积校正 · 标准样品法
剥离滤波
第5章
实战案例
不锈钢Fe-Cr-Ni · 矿物稀土元素 · 半导体W-Si体系干扰消除
案例金属
第6章
能谱定量分析基础
ZAF校正原理 · φ(ρz)方法 · 无标样定量与有标样定量
定量ZAF
第7章
能谱干扰对定量的影响
峰重叠导致的定量偏差 · 逃逸峰对轻元素影响 · 和峰对痕量元素干扰
偏差痕量
第8章
能谱数据处理流程
原始谱图采集 · 能量刻度 · 背景扣除 · 峰识别 · 峰面积计算 · 定量计算
流程刻度
第9章
背景扣除方法
线性背景 · Bremsstrahlung建模 · Top-hat滤波 · 数字滤波背景扣除
背景滤波
第10章
峰面积计算方法
积分法 · 拟合峰面积(高斯/洛伦兹) · 净峰面积计算
峰面积拟合
第11章
能谱能量分辨率
探测器能量分辨率影响因素 · FWHM与能量关系 · 分辨率对干扰识别的影响
分辨率FWHM
第12章
能谱采集参数优化
加速电压选择 · 束流大小 · 采集时间 · 死时间控制 · 脉冲处理时间
参数采集
第13章
轻元素分析挑战
Be/B/C/N/O/F的K线系干扰 · 窗口吸收效应 · 轻元素定量策略
轻元素吸收
第14章
重元素分析挑战
M线系与L线系重叠 · 高原子序数复杂谱线 · 重元素干扰识别
重元素M线系
第15章
过渡族元素干扰
Fe-Co-Ni体系 · Cr-Mn-Fe体系 · Ti-V-Cr体系的峰重叠分析
过渡族重叠
第16章
稀土元素干扰
La-Ce-Pr-Nd体系 · 重稀土Gd-Lu的L线系干扰 · 稀土定量策略
稀土L线系
第17章
矿物EDS分析
硅酸盐矿物元素干扰 · 碳酸盐C-O干扰 · 硫化物S-Fe干扰
矿物硅酸盐
第18章
金属材料EDS分析
铝合金Mg-Si-Cu干扰 · 高温合金W-Ta-Re干扰 · 钢铁微量元素分析
金属合金
第19章
半导体材料EDS分析
Si-Ge体系 · GaAs中As L与Ga L干扰 · InP中In L与P K干扰
半导体GaAs
第20章
陶瓷材料EDS分析
Al₂O₃中Al K与O K干扰 · ZrO₂中Zr L与O K干扰 · Si₃N₄中Si K与N K干扰
陶瓷氧化物
第21章
生物材料EDS分析
C-N-O-S-P体系干扰 · 生物样品微量元素检测 · 低剂量采集策略
生物低剂量
第22章
纳米材料EDS分析
空间分辨率限制 · 低电压分析策略 · 纳米颗粒元素分布干扰
纳米低电压
第23章
能谱与能谱联合分析
EDS与WDS对比 · EDS与EELS联合 · EDS与XRD联合表征
联合WDS
第24章
能谱自动化分析
自动峰识别算法 · 自动背景扣除 · 自动定量报告生成
自动化算法
第25章
能谱数据质量评估
谱图质量指标 · 信噪比评估 · 峰背比分析 · 数据可靠性判断
质量信噪比
第26章
能谱干扰数据库构建
常见元素干扰对数据库 · 干扰系数计算 · 数据库在自动分析中的应用
数据库干扰系数
第27章
能谱模拟与预测
蒙特卡洛模拟(CASINO) · DTSA-II软件应用 · 干扰谱图模拟
模拟CASINO
第28章
能谱标准样品制备
纯元素标准 · 化合物标准 · 标准样品均匀性检验 · 稳定性
标样均匀性
第29章
能谱实验室质量控制
仪器校准 · 能量刻度验证 · 定量准确性验证 · 实验室间比对
质控校准
第30章
能谱前沿技术
快速能谱成像 · 超低电压EDS · 机器学习应用 · 原位能谱分析
前沿成像