第01章
EDS基础原理
X射线产生机制 · 特征X射线与连续X射线 · EDS探测器工作原理
核心理论探测器
第02章
能谱采集参数优化
加速电压选择 · 束流大小设定 · 采集时间与死时间控制
参数死时间
第03章
定性分析基础
能谱峰识别 · 元素重叠峰判断 · 背景扣除方法
定性峰识别
第04章
定量分析模型
ZAF校正法 · φ(ρz)法 · 无标样定量与有标样定量
定量ZAF
第05章
标样选择与制备
标样纯度要求 · 标样基体匹配 · 标样表面处理
标样制备
第06章
样品制备对精度的影响
表面平整度 · 导电性 · 镀膜厚度控制
制样精度
第07章
加速电压对定量精度的影响
过压比选择 · 不同元素的最佳加速电压
电压优化
第08章
束流稳定性与计数率
束流漂移校正 · 高计数率下的死时间修正
束流死时间
第09章
谱峰重叠处理
峰剥离算法 · 多重线性最小二乘拟合(MLM)
算法重叠峰
第10章
背景扣除技术
线性背景 · 多项式背景 · 数字滤波背景扣除
背景滤波
第11章
ZAF校正详解
原子序数校正(Z) · 吸收校正(A) · 荧光校正(F)
ZAF校正
第12章
φ(ρz)法深度分布
表面电离分布函数 · 深度分布模型选择
深度φ(ρz)
第13章
无标样定量分析
标准库建立 · 无标样定量误差来源
无标样数据库
第14章
有标样定量分析
标样校准曲线 · 多点标样校正
有标样校准
第15章
轻元素定量分析
轻元素X射线产额低 · 轻元素吸收校正 · 轻元素标样选择
轻元素吸收
第16章
微量元素定量分析
检测限计算 · 微量元素峰统计误差 · 富集与偏析分析
微量检测限
第17章
能谱与波谱对比
EDS与WDS分辨率差异 · EDS与WDS定量精度对比
WDS对比
第18章
能谱数据处理软件
软件功能对比 · 自动化批处理流程 · 数据导出与报告
软件批处理
第19章
误差来源与评估
统计误差 · 系统误差 · 操作误差 · 误差传递分析
误差评估
第20章
质量控制与标准
ISO标准 · 实验室间比对 · 质控样品日常监控
质控标准
第21章
低电压能谱分析
低电压优势与局限 · 低电压下轻元素分析 · 表面敏感分析
低电压表面
第22章
能谱成像与面分布
元素面分布图采集 · 面分布定量分析 · 伪彩与叠加显示
成像面分布
第23章
线扫描分析
线扫描参数设置 · 线扫描定量精度 · 界面扩散分析
线扫描扩散
第24章
颗粒与夹杂物分析
颗粒尺寸效应 · 颗粒基体效应 · 自动颗粒分析
颗粒夹杂物
第25章
薄膜与涂层分析
薄膜厚度测量 · 多层膜分析 · 薄膜成分定量
薄膜涂层
第26章
原位与动态分析
加热/冷却台EDS · 拉伸台EDS · 时间分辨能谱
原位动态
第27章
能谱与EBSD联用
成分与晶体学关联 · 相鉴定与成分分析
EBSD联用
第28章
能谱数据库与谱图解析
标准谱图库 · 未知相谱图匹配 · 机器学习辅助解析
数据库机器学习
第29章
报告撰写与数据呈现
定量结果表格规范 · 误差棒表示 · 谱图标注与说明
报告可视化
第30章
综合案例分析
典型材料体系EDS定量分析全流程 · 常见问题与解决方案
案例全流程