01
EDS能谱基础
X射线产生原理 · 特征X射线与连续X射线 · EDS在SEM/TEM中的应用
原理入门
02
能谱仪硬件构成
硅漂移探测器(SDD) · Si(Li)探测器 · 窗口类型与影响 · 电子陷阱与冷却系统
硬件探测器
03
探测器参数与性能
能量分辨率 · 峰背比 · 最大计数率 · 探测器有效面积
指标选型
04
数据采集前准备
样品制备要求 · 导电性处理 · 表面平整度 · 束流稳定性检查
制样流程
05
采集参数设置
加速电压选择 · 束流大小设定 · 工作距离调整 · 采集时间设定
参数优化
06
谱图采集实操
点分析 · 线扫描 · 面分布(Mapping) · 多点统计
实操模式
07
死时间与计数率
死时间概念 · 最佳计数率范围 · 过载保护机制 · 实时调整策略
采集速率
08
谱图质量评估
峰背比判断 · 计数统计误差 · 谱峰重叠识别 · 基线漂移检查
质控诊断
09
能量定标
零峰校准 · 铜峰校准 · 多元素标准样品校准 · 漂移校正
校准精度
10
定性分析原理
Moseley定律 · KLM线系识别 · 特征峰能量查表
理论识别
11
谱峰识别技术
自动峰搜索 · 手动峰标记 · 重叠峰分解 · 逃逸峰与和峰识别
算法峰处理
12
常见元素谱线特征
轻元素(B-F) · 过渡金属(Sc-Zn) · 重元素(Cd-U) · 稀土元素
谱线数据库
13
谱峰干扰与解决
Si与W干扰 · S与Mo干扰 · Ba与Ti干扰 · 峰剥离算法
干扰剥离
14
定量分析基础
ZAF校正原理 · φ(ρz)方法 · 标准less定量 · 标准定量
定量校正
15
ZAF校正详解
原子序数校正(Z) · 吸收校正(A) · 荧光校正(F) · 校正曲线解读
ZAF深度
16
标准less定量
Cliff-Lorimer法 · K因子计算 · 无标样精度限制 · 适用场景
无标快速
17
标准定量法
标准样品制备 · K因子实验测定 · 多标准校正 · 精度评估
标准准确
18
定量分析误差来源
统计误差 · 系统误差 · 样品不均匀性 · 表面粗糙度影响
误差可靠性
19
轻元素定量挑战
Be到F的检测 · 窗口吸收 · 荧光产额低 · 专用探测器方案
轻元素挑战
20
微量元素分析
检测限概念 · 信噪比提升 · 长时采集策略 · 背景扣除方法
痕量灵敏度
21
Mapping数据处理
像素谱处理 · 元素分布图生成 · 叠加图 · 伪彩色处理
成像面分布
22
线扫描数据分析
浓度分布曲线 · 界面扩散分析 · 线扫描分辨率 · 数据平滑
线扫描扩散
23
能谱数据处理软件
Aztec · Esprit · Genesis · NSS等软件操作流程
软件实操
24
谱图后处理
平滑滤波 · 背景扣除 · 峰面积积分 · 净强度计算
后处理定量
25
成分鉴定报告
报告模板 · 数据表格 · 谱图输出 · 分析结论撰写
报告规范
26
EDS与WDS对比
能量分辨率差异 · 检测限对比 · 分析速度 · 应用选择
对比WDS
27
EDS与EELS对比
轻元素灵敏度 · 能量分辨率 · 空间分辨率 · 互补应用
EELS互补
28
低电压EDS分析
表面灵敏度提升 · 束流损伤降低 · 低过压比挑战 · 窗口影响
低电压表面
29
冷冻EDS分析
冷冻样品制备 · 低温漂移校正 · 冰晶干扰 · 含水样品分析
冷冻含水
30
EDS前沿技术
快速Mapping · 超大面积探测器 · 机器学习辅助分析 · 原位EDS
前沿AI