01
真空系统概述
电子束焊接为什么需要真空？真空度的定义与单位，真空系统的核心组成（真空室、泵组、阀门、管路）。
基础核心概念
02
真空泵组详解（上）
机械泵的工作原理、结构、选型与维护，罗茨泵的工作原理与特点。
机械泵罗茨泵
03
真空泵组详解（下）
扩散泵的工作原理、使用注意事项，分子泵的工作原理与维护，低温泵简介。
扩散泵分子泵低温泵
04
真空测量技术
热偶规、电离规、皮拉尼规、冷阴极规的工作原理、量程与选型，真空计校准。
真空计校准
05
真空阀门与密封
各类真空阀门（闸阀、角阀、蝶阀、微调阀）的结构与用途，真空密封材料与设计（O型圈、金属密封）。
阀门密封
06
真空室设计基础
真空室材料选择（不锈钢、碳钢），壁厚计算，开门方式与观察窗设计，内部工装夹具的真空兼容性。
设计结构
07
真空系统控制逻辑
PLC控制架构，抽真空流程（粗抽、精抽、保压），联锁保护逻辑（泵互锁、阀互锁、水压/气压保护）。
PLC联锁
08
真空系统操作规范
开机流程（冷却水、气源、泵组启动顺序），关机流程，日常巡检项目。
操作规范
09
真空系统常见故障（一）
抽速慢或抽不到极限真空——泄漏排查（氦质谱检漏、分段打压法）。
泄漏检漏
10
真空系统常见故障（二）
真空度波动——泵组性能下降、阀门内漏、油污染。
波动污染
11
真空系统常见故障（三）
真空计读数异常——规管污染、线缆故障、控制器故障。
真空计读数
12
真空系统常见故障（四）
泵组异常噪音与振动——机械泵叶片磨损、罗茨泵齿轮间隙、分子泵轴承故障。
噪音振动
13
真空系统常见故障（五）
阀门动作失灵——电磁阀线圈烧毁、气缸密封圈老化、位置传感器失效。
阀门传感器
14
真空系统常见故障（六）
冷却与气动系统故障——冷却水流量不足、气源压力不稳、管路堵塞。
冷却气动
15
电子束焊机真空系统集成
焊机与真空系统的接口（电子枪真空室、焊接真空室），差压抽气系统设计。
集成差压
16
电子枪真空环境要求
电子枪对真空度的特殊要求（高真空、无油、低振动），枪体烘烤与去气。
电子枪高真空
17
焊接工艺与真空度的关系
不同材料（铝、钛、铜、钢）对真空度的要求，真空度对焊缝成形与质量的影响。
工艺材料
18
真空系统维护保养（一）
机械泵换油与油雾过滤器更换，罗茨泵与扩散泵的定期保养。
保养换油
19
真空系统维护保养（二）
分子泵保养（更换轴承、动平衡校准），真空计规管更换与清洁。
分子泵规管
20
真空系统维护保养（三）
阀门密封圈更换，真空室内部清洁（打磨、抛光、清洗）。
密封圈清洁
21
真空系统维护保养（四）
管路与法兰的维护，冷阱与低温泵的再生。
管路冷阱
22
真空系统故障诊断方法论
故障树分析法（FTA），基于PLC报警代码的快速定位，维修日志与数据记录。
FTA诊断
23
真空系统安全规范
高压电安全（电子枪高压），X射线防护，真空室压差安全（防爆、防吸瘪）。
安全防护
24
真空系统升级改造
老旧泵组替换方案（扩散泵改分子泵），自动化升级（远程监控、数据采集）。
升级自动化
25
真空系统节能与降本
泵组运行策略优化（间歇运行、变频控制），备件管理（国产替代、寿命管理）。
节能备件
26
真空系统设计案例（一）
小型实验用电子束焊机真空系统设计（抽速计算、泵组选型、管路布局）。
案例实验
27
真空系统设计案例（二）
大型生产线电子束焊机真空系统设计（多工位、快速抽空、节能设计）。
生产线大型
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真空系统调试与验收
真空系统调试流程（单机调试、联机调试），验收标准（极限真空度、抽速、泄漏率）。
调试验收
29
真空系统常见问题Q&A（上）
抽真空时间过长、真空度反弹、规管污染等20个典型问题解答。
Q&A典型问题
30
真空系统常见问题Q&A（下）
泵组过热、阀门卡死、控制系统死机等20个典型问题解答。
Q&A故障排除