MEMS惯性器件特性分析与建模

📚 共计 30 章节
01
MEMS惯性器件概述
MEMS技术简介 · 惯性器件基本原理 · 主要性能指标
零偏标度因数噪声带宽
02
MEMS加速度计工作原理
电容式结构 · 梳齿电容 · 差分检测 · 闭环/开环
电容式差分检测闭环
03
MEMS陀螺仪工作原理
科里奥利效应 · 音叉式结构 · 驱动/检测模态 · 正交误差
科里奥利音叉正交误差
04
MEMS惯性器件误差源分析
机械热噪声 · 量化噪声 · 闪烁噪声 · 随机游走
布朗噪声1/f随机游走
05
Allan方差分析(上)
Allan方差定义 · 双对数曲线 · 噪声项辨识
量化噪声角度随机游走零偏不稳定性
06
Allan方差分析(下)
重叠法计算 · 实测拟合 · 参数提取 (ARW/BI/RRW)
重叠法ARWBIRRW
07
MEMS加速度计误差建模
确定性误差 · 温度模型 · 非线性模型
零偏标度因数交叉耦合温度
08
MEMS陀螺仪误差建模
g灵敏度 · 非正交误差 · 温度漂移 · 振动误差
g灵敏度非正交温度漂移
09
随机误差建模方法
时间序列 · ARMA模型 · 卡尔曼滤波噪声建模 · PSD
ARMA卡尔曼功率谱密度
10
MEMS惯性器件标定方法(上)
六位置法 · 速率法 · 多位置法标定
六位置速率法多位置
11
MEMS惯性器件标定方法(下)
温度标定 · 振动标定 · 现场/自标定
温度振动自标定
12
MEMS惯性器件温度特性分析
温度对零偏/标度因数影响 · 补偿方法
多项式拟合分段线性神经网络
13
MEMS惯性器件振动特性分析
振动整流误差(VRE) · 线/角振动响应 · 补偿
VRE线振动角振动
14
MEMS惯性器件噪声抑制技术
低通/带通滤波 · 自适应滤波 · 小波去噪
低通自适应小波
15
MEMS惯性器件信号预处理
数据清洗 · 异常值剔除 · 滑动平均 · 去趋势
清洗滑动平均去趋势
16
MEMS惯性器件频率响应分析
传递函数 · 幅频/相频 · 带宽与相位延迟
传递函数幅频相频带宽
17
MEMS惯性器件非线性分析
谐波失真 · 死区 · 饱和 · 迟滞效应
谐波失真死区迟滞
18
MEMS惯性器件交叉轴灵敏度
交叉耦合系数测量 · 解耦算法 · 误差补偿
交叉耦合解耦补偿
19
MEMS惯性器件长期稳定性分析
老化漂移 · 重复性 · 存储与工作寿命
老化重复性寿命
20
MEMS惯性器件冲击与过载特性
抗冲击能力 · 过载恢复 · 失效模式
冲击过载失效
21
MEMS惯性器件测试系统设计
测试转台 · 温控箱 · 数据采集 · 流程设计
转台温控采集
22
MEMS惯性器件数据采集与处理
采样率 · 抗混叠滤波 · 同步采集 · 数据格式
采样率抗混叠同步
23
MEMS惯性器件误差补偿算法
六/十二参数补偿 · 温度补偿 · 安装误差补偿
六参数十二参数安装误差
24
MEMS惯性器件组合导航应用
IMU+GPS · 零速修正(ZUPT) · 航位推算(DR)
GPSZUPTDR
25
MEMS惯性器件在姿态解算中的应用
四元数 · 欧拉角 · 等效旋转矢量 · 圆锥误差
四元数欧拉角圆锥误差
26
MEMS惯性器件在导航解算中的应用
捷联惯导 · 速度/位置/姿态更新
捷联速度更新姿态更新
27
MEMS惯性器件在工业机器人中的应用
振动监测 · 姿态控制 · 碰撞检测
振动监测姿态控制碰撞
28
MEMS惯性器件在自动驾驶中的应用
车辆定位 · 航向估计 · 坡度检测
定位航向坡度
29
MEMS惯性器件在消费电子中的应用
屏幕旋转 · 游戏手柄 · 运动手环
手机游戏手环
30
MEMS惯性器件发展趋势
高精度MEMS · 芯片级原子钟 · 多轴集成 · AI标定
高精度原子钟AI