01
压电效应基础
正压电与逆压电效应 · PZT/PMN-PT · 叠堆执行器
压电材料
02
纳米平台结构
柔性铰链 · 电容/光栅传感器 · 预紧力机构
机械传感器
03
迟滞非线性建模
Preisach · Prandtl-Ishlinskii · 神经网络
建模迟滞
04
蠕变特性分析
蠕变机理 · 对数模型 · 补偿策略
蠕变补偿
05
振动模态分析
有限元仿真 · 锤击/扫频法 · 参数识别
模态实验
06
前馈控制策略
逆模型补偿 · ZPETC · 输入整形
前馈跟踪
07
PID控制改进
抗饱和 · 微分先行 · 增益调度
PID纳米定位
08
鲁棒控制基础
H∞混合灵敏度 · μ综合 · 结构奇异值
鲁棒H∞
09
自适应控制
MRAC · 自校正调节器 · 在线辨识
自适应辨识
10
滑模控制
等效控制 · 趋近律 · 抖振抑制
滑模鲁棒
11
迭代学习控制
开环/闭环ILC · P/D型学习律 · 收敛性
ILC学习
12
重复控制
内模原理 · 延时正反馈 · 周期扰动抑制
重复控制周期
13
谐振控制
多谐振RSC · 陷波滤波器 · 主动阻尼
谐振阻尼
14
数字信号处理
采样定理 · FIR/IIR · 小波去噪
DSP滤波
15
系统辨识
正弦扫频 · PRBS · 子空间辨识
辨识PRBS
16
FPGA实时控制
流水线 · 定点数优化 · 并行PID/滤波器
FPGA实时
17
dSPACE快速原型
Controldesk · RTI · 硬件在环
dSPACEHIL
18
传感器噪声处理
卡尔曼滤波 · 粒子滤波 · 自适应抵消
滤波降噪
19
多自由度解耦
雅可比矩阵 · 动力学耦合 · 分散/集中控制
解耦多轴
20
温度漂移补偿
热膨胀模型 · 温度前馈 · 恒温设计
温漂补偿
21
真空环境适应性
真空压电特性 · 放气率 · 高真空材料
真空材料
22
大行程纳米定位
尺蠖/步进电机 · 宏微结合 · 切换控制
大行程宏微
23
高速扫描控制
光栅轨迹 · 三角波优化 · 畸变校正
扫描高速
24
原子力显微镜(AFM)
轻敲振幅控制 · 力曲线 · STM反馈
AFMSPM
25
光刻机工件台
六自由度磁浮/压电 · 纳米步进 · 同步控制
光刻工件台
26
精密光学对准
光束偏转 · 像差补偿 · 锁相放大
光学对准
27
微纳操作机器人
压电微夹爪 · 力反馈遥操作 · 视觉伺服
微纳机器人
28
可靠性评估
加速老化 · Weibull分析 · FMEA
可靠性寿命
29
性能测试标准
ISO 230-2 · 分辨率 · 阶跃响应/带宽
标准计量
30
前沿趋势
机器学习迟滞建模 · 非线性控制 · 压电MEMS
前沿MEMS