压电纳米平台多轴协同控制实战
📚 共计 30 章节
01
压电陶瓷基础
逆压电效应 · 压电方程 · 迟滞非线性 · 蠕变特性
核心原理
迟滞
02
纳米平台机械结构
柔性铰链放大 · 电容传感器 · 预紧力调节
机械
传感器
03
驱动电源设计
高压运放选型 · 纹波抑制 · 过流保护
电路
电源
04
多轴解耦控制
雅可比坐标变换 · 交叉耦合补偿
解耦
矩阵
05
PID控制实战
位置/速度环整定 · 积分饱和 · 前馈补偿
经典控制
调参
06
前馈-反馈复合控制
逆模型迟滞补偿 · 零相位误差跟踪
复合控制
逆模型
07
迭代学习控制
重复轨迹跟踪 · 收敛性 · 学习增益
ILC
迭代
08
鲁棒控制
H∞混合灵敏度 · μ综合 · 不确定性建模
鲁棒
H∞
09
自适应控制
模型参考自适应 · 自校正 · 在线辨识
自适应
辨识
10
滑模控制
滑模面设计 · 抖振抑制 · 边界层法
滑模
鲁棒
11
模糊逻辑控制
隶属度函数 · 模糊规则库 · 解模糊化
模糊
智能
12
神经网络控制
RBF网络逼近 · 逆模型辨识 · 自适应PID
神经网络
RBF
13
模型预测控制
预测模型 · 滚动优化 · 约束处理
MPC
优化
14
多轴同步控制
主从同步 · 交叉耦合 · 虚拟主轴
同步
多轴
15
轨迹规划
S形速度曲线 · 梯形曲线 · 加加速度限制
轨迹
运动规划
16
振动抑制
陷波滤波器 · 输入整形 · 主动阻尼
振动
滤波
17
实时操作系统
RT-Linux · Xenomai · 任务优先级调度
RTOS
实时
18
FPGA加速
并行PID · 高速AD/DA · 硬件在环仿真
FPGA
硬件加速
19
EtherCAT总线
分布式时钟同步 · 数据帧 · 从站配置
总线
EtherCAT
20
上位机开发
PyQt5界面 · 实时曲线 · 数据记录回放
上位机
PyQt
21
标定与校准
激光干涉仪标定 · 误差补偿 · 温度漂移
标定
精度
22
系统辨识
阶跃响应 · 频率响应 · 最小二乘估计
辨识
建模
23
稳定性分析
李雅普诺夫 · 奈奎斯特 · 增益裕度
稳定性
判据
24
抗饱和设计
条件积分 · 变结构积分 · 跟踪反计算
抗饱和
积分
25
多速率控制
快慢环分离 · 多采样率滤波 · 异步通信
多速率
采样
26
故障诊断
残差生成 · 阈值检测 · 传感器隔离
故障
诊断
27
电磁兼容
屏蔽接地 · 滤波电容 · 共模扼流圈
EMC
抗干扰
28
热管理
热阻网络 · 强制风冷 · 热变形补偿
热设计
散热
29
性能测试
阶跃响应指标 · 正弦跟踪 · 重复定位精度
测试
指标
30
工程案例
晶圆对准台 · 光刻机掩模台 · AFM扫描器
实战
案例