01
晶圆传输系统概述
晶圆制造背景 · 传输系统角色 · 防抖动必要性
背景总览
02
抖动来源分析
机械振动 · 电气噪声 · 气动系统扰动
源分析诊断
03
传感器选型与布局
编码器/光栅尺 · 加速度计 · 力传感器策略
传感器布局
04
执行机构特性分析
直线/旋转电机 · 气动滑台 · 真空吸盘非线性
执行器动态
05
基础控制理论回顾
PID · 前馈/反馈 · 稳定性判据
控制经典
06
运动轨迹规划
S曲线 · 梯形曲线 · 多项式插值 · 速度前瞻
轨迹规划
07
振动抑制基础
被动隔振 · 空气弹簧 · 主动隔振原理
隔振基础
08
陷波滤波器设计
陷波原理 · 数字设计 · 伺服实现
滤波器陷波
09
低通滤波器与相位补偿
低通选型 · 相位滞后/超前补偿
补偿滤波器
10
加速度前馈控制
前馈原理 · 增益整定 · 抖动抑制效果
前馈加速度
11
扰动观测器设计
观测器原理 · 模型估计 · 低通滤波
观测器扰动
12
自抗扰控制 (ADRC)
ADRC核心 · 扩张状态观测器 · 非线性反馈
ADRC先进
13
滑模控制基础
滑模面 · 趋近律 · 抖振抑制(边界层)
滑模鲁棒
14
迭代学习控制 (ILC)
ILC原理 · P/PD学习律 · 收敛性
迭代学习
15
鲁棒控制简介
H∞控制 · μ综合 · 不确定性建模
鲁棒H∞
16
模型预测控制 (MPC)
MPC原理 · 约束处理 · 晶圆传输应用
MPC预测
17
多轴同步控制
电子凸轮 · 主从同步 · 交叉耦合 · 虚轴法
同步多轴
18
力/位混合控制
力控位控切换 · 阻抗控制 · 柔顺控制
力控混合
19
真空系统控制
真空度稳定 · 吸盘吸附力 · 破真空时序
真空时序
20
气动系统控制
比例阀 · 气缸缓冲 · 非线性补偿
气动缓冲
21
实时操作系统与任务调度
RTOS选型 · 优先级 · 看门狗安全
RTOS调度
22
通信协议与同步
EtherCAT · Profinet · CANopen · 时钟同步
总线同步
23
数据采集与信号处理
采样定理 · 抗混叠 · 移动平均/卡尔曼
采集滤波
24
故障诊断与容错控制
传感器/执行器故障 · 冗余策略
诊断容错
25
系统辨识与建模
阶跃/频率响应 · 最小二乘 · 模型验证
辨识建模
26
仿真平台搭建
MATLAB/Simulink · HIL · 半实物仿真
仿真HIL
27
调试与参数整定
PID整定(Z-N/自整定) · 陷波器调试
整定调试
28
性能评估指标
定位精度 · 重复精度 · 稳定时间 · 抖动幅度
指标评估
29
案例分析
典型晶圆传输抖动排查与解决全过程
案例实战
30
前沿技术展望
AI抖动抑制 · 数字孪生 · 预测性维护
前沿AI