纳米级运动控制中的振动抑制技巧
📚 共计 30 章节
01
振动的本质
从牛顿定律到纳米尺度下的扰动源分析
基础理论
扰动源
02
传感器噪声
电容式、压电式与光学传感器的噪声特性对比
传感器
噪声分析
03
执行器纹波
压电陶瓷的迟滞与蠕变效应
执行器
非线性
04
机械谐振
系统固有频率的识别与建模
动力学
建模
05
地基振动
被动隔振平台的设计原理
隔振
机械设计
06
前馈控制
基于模型的前馈补偿策略
控制策略
前馈
07
陷波滤波器
数字陷波器的设计与参数整定
滤波器
数字信号
08
低通滤波
巴特沃斯与切比雪夫滤波器的选择
滤波器
模拟/数字
09
PID调优
针对纳米定位的PID参数优化
控制
参数整定
10
加速度反馈
利用加速度计实现主动阻尼
主动阻尼
传感器
11
状态观测器
龙伯格观测器在振动估计中的应用
观测器
状态估计
12
自适应控制
在线辨识与参数自整定
自适应
在线
13
迭代学习控制
重复运动中的振动抑制
学习控制
重复
14
鲁棒控制
H∞方法在纳米定位中的应用
鲁棒
H∞
15
滑模控制
克服模型不确定性的强鲁棒方法
滑模
鲁棒
16
输入整形
基于脉冲响应的振动消除技术
整形
前馈
17
零相位滤波
离线数据处理中的相位补偿
滤波
离线
18
多自由度耦合
交叉耦合补偿策略
耦合
补偿
19
热漂移补偿
温度变化引起的低频漂移抑制
热漂移
补偿
20
采样率选择
奈奎斯特准则与抗混叠滤波
采样
信号处理
21
量化误差
ADC/DAC分辨率对控制精度的影响
量化
精度
22
实时系统
RTOS在高速控制环中的应用
实时
RTOS
23
FPGA实现
硬件加速的并行控制算法
FPGA
硬件
24
系统辨识
扫频法与阶跃响应法获取传递函数
辨识
建模
25
模型降阶
从高阶模型到实用控制器的简化
降阶
简化
26
非线性补偿
Preisach模型与逆补偿
非线性
迟滞
27
力反馈控制
基于力传感器的直接阻尼
力反馈
阻尼
28
视觉伺服
机器视觉辅助的振动监测
视觉
监测
29
多传感器融合
卡尔曼滤波在振动估计中的应用
融合
卡尔曼
30
综合案例
原子力显微镜（AFM）的振动抑制系统设计
案例
AFM