半导体设备运动控制参数整定实战

📚 共计 30 章节

运动控制基础

半导体设备中的运动控制概述 · 伺服与步进电机选型 · 驱动器与控制器架构

PID控制原理

比例、积分、微分的作用 · PID数学模型 · 位置式与增量式PID

数学位置/增量

参数整定方法论

Ziegler-Nichols法 · 试凑法 · 基于模型的自整定

速度环整定

速度环带宽概念 · 增益与积分时间常数 · 速度前馈补偿

位置环整定

位置环增益与跟随误差 · 位置前馈与加速度前馈 · 电子齿轮比设置

跟随误差电子齿轮

电流环整定

电流环响应速度 · 电流环PI参数 · 电流环与速度环的耦合

陷波滤波器

机械共振原理 · 陷波滤波器参数设置 · 多级陷波滤波器应用

低通滤波器

噪声抑制与带宽权衡 · 截止频率选择 · 滤波器阶数影响

加减速控制

S型曲线规划 · 梯形曲线规划 · Jerk限制与冲击抑制

点位运动控制

点到点运动 · 绝对/相对位置 · Home归零与限位逻辑

连续轨迹控制

直线插补 · 圆弧插补 · 速度前瞻与路径平滑

电子凸轮与飞剪

电子凸轮原理 · 主从同步 · 飞剪与追剪应用

龙门同步控制

双轴同步误差 · 交叉耦合控制 · 主从与虚拟主轴模式

龙门交叉耦合

恒张力与锥度张力 · 张力传感器与浮动辊 · 收放卷控制

张力收放卷

力位混合控制 · 力传感器校准 · 压力闭环响应

半导体工艺中的温度控制 · PID与自整定 · 加热与冷却平衡

温度自整定

多轴协调控制

多轴插补与同步 · 坐标系变换 · G代码与M代码解析

运动控制总线

EtherCAT · POWERLINK · Profinet · CANopen协议对比

驱动器参数配置

电流/速度/位置环参数映射 · 驱动器调试软件使用

参数映射调试

控制器参数配置

控制器周期 · 任务优先级 · 中断与DMA配置

示波器与数据分析

示波器抓取波形 · FFT频谱分析 · 时域与频域指标

振动分析与抑制

振动源识别 · 主动阻尼 · 被动阻尼与吸振器

Stribeck摩擦模型 · 库仑/粘性摩擦 · 前馈与自适应补偿

Stribeck自适应

backlash与齿隙补偿

齿隙测量 · 反向间隙补偿 · 弹性变形补偿

齿隙弹性变形

负载惯量辨识

惯量比计算 · 惯量辨识方法 · 惯量匹配原则

惯量比匹配

自动整定技术

自整定算法原理 · 在线与离线整定 · 整定结果评估

自整定在线/离线

晶圆搬运机械手 · 划片机 · 键合机 · 光刻机运动台

晶圆光刻机

故障诊断与排查

常见故障现象 · 参数异常分析 · 日志与报警解读

性能指标与测试

定位精度 · 重复定位精度 · 跟随误差 · 稳定时间

精度稳定时间

学习控制 · 迭代学习控制 · 模型预测控制 · AI辅助整定