01
晶圆传输系统概述
半导体制造流程 · 传输角色与重要性 · 机械臂核心地位
基础入门
02
机械臂运动学基础
空间描述 · DH参数 · 正/逆运动学求解
运动学建模
03
轨迹规划核心概念
关节/笛卡尔空间 · 插值 · S型/梯形曲线
规划速度
04
晶圆传输特殊要求
洁净度 · 防震 · 对准 · 末端执行器
工艺洁净
05
路径规划与避障
工作空间 · 静态/动态避障 · A*与RRT
避障算法
06
速度与加速度优化
时间/能量最优 · Jerk限制 · 平滑度
优化运动
07
多机械臂协同
双臂协调 · 防碰撞 · 同步/异步 · 调度
协同多臂
08
传感器融合与反馈
位置/力觉/视觉 · 数据融合算法
传感反馈
09
误差补偿与标定
运动学标定 · TCP · 负载辨识 · 温度补偿
标定精度
10
实时控制与通信
EtherCAT · 运动控制卡 · 状态机 · 安全
实时通信
11
软件架构与编程
模块化 · 状态机 · ROS · 版本控制
软件架构
12
仿真与离线编程
CoppeliaSim/Unity · 轨迹验证 · 代码生成
仿真离线
13
晶圆盒（FOUP/FOSB）操作
开/关盒 · Mapping · 存在检测 · 环境监控
晶圆盒FOUP
14
真空与夹持技术
伯努利吸盘 · 真空发生器 · 夹持力控制
真空夹持
15
安全与互锁机制
光幕 · 急停 · 力矩限制 · 区域监控
安全互锁
16
性能测试与验收
重复定位精度 · 轨迹跟踪 · 吞吐量 · MTBF
测试验收
17
常见故障与排除
通讯中断 · 轴卡死 · 晶圆滑落 · 振动异常
故障维护
18
先进控制算法
前馈 · 自适应 · ILC · 阻抗控制
控制算法
19
机器学习在轨迹规划中的应用
轨迹预测 · 参数自整定 · 强化学习
ML智能
20
EAP与MES集成
SECS/GEM · 配方管理 · 数据上报 · 远程监控
集成MES
21
晶圆边缘处理与对准
边缘检测 · notch/平边 · 预对准器
对准边缘
22
高速传输中的动力学
柔性臂 · 振动抑制 · 残余振动 · 加速度前馈
动力学高速
23
温度与真空环境适应
高温腔室 · 真空润滑 · 热膨胀 · 材料
环境真空
24
晶圆翻转与定向
翻转机构 · 定向控制 · 双面工艺 · 安全速度
翻转定向
25
维护与保养计划
标定周期 · 易损件 · 润滑 · 预测维护
保养计划
26
行业标准与规范
SEMI标准 · 洁净室 · 安全规范 · EMC
标准SEMI
27
案例分析
300mm晶圆 · 12英寸厂 · 旧厂改造 · 高速机台
案例实战
28
未来趋势
OHT对接 · 人机协作 · 数字孪生 · 自主决策
前沿趋势
29
综合项目实战
需求分析 · 方案设计 · 仿真 · 现场调试
项目综合
30
课程总结与进阶路径
核心回顾 · 书籍论文 · 开源社区 · 职业发展
总结进阶