01
晶圆台定位系统概述
半导体制造中的定位需求 · 微米级精度的重要性 · 系统组成与工作原理
基础概论
02
运动控制基础
伺服电机与步进电机 · 编码器与光栅尺 · PID控制原理
电机反馈
03
机械结构设计
气浮平台与滚珠丝杠 · 直线电机选型 · 减振与热管理
机械选型
04
驱动与放大器
伺服驱动器配置 · 电流环与速度环调试 · PWM与线性驱动
驱动调试
05
位置反馈系统
增量式与绝对式编码器 · 光栅尺信号处理 · 细分技术
反馈精度
06
控制算法入门
PID参数整定 · 前馈控制 · 陷波滤波器
算法整定
07
运动轨迹规划
S曲线加减速 · 梯形速度曲线 · 电子凸轮
轨迹运动
08
通讯协议
EtherCAT · CANopen · 脉冲方向接口
总线实时
09
实时操作系统
RTOS在运动控制中的应用 · 任务调度与中断
系统实时
10
上位机开发
C#与Python控制界面 · 数据采集与可视化
上位机界面
11
标定与校准
激光干涉仪标定 · 误差补偿 · 阿贝误差
标定计量
12
振动分析与抑制
频谱分析 · 主动减振 · 被动减振
振动抑制
13
温度影响与补偿
热膨胀模型 · 实时温度补偿 · 恒温环境
温度补偿
14
重复定位精度
统计过程控制 · GRR分析 · 长期稳定性测试
精度统计
15
微米级定位难点
爬行现象 · 静摩擦力 · 迟滞效应
难点摩擦
16
先进控制算法
自适应控制 · 鲁棒控制 · 滑模控制
算法高阶
17
视觉定位系统
相机标定 · 模板匹配 · 视觉伺服
视觉定位
18
多轴协同控制
龙门同步 · 交叉耦合控制 · 主从跟随
多轴同步
19
安全与互锁
光幕与急停 · 软件限位 · 安全PLC
安全互锁
20
故障诊断与维护
常见故障排查 · 振动监测 · 预测性维护
维护诊断
21
EtherCAT实战
从站配置 · DC同步 · 分布式时钟
总线实战
22
光栅尺安装与调试
安装规范 · 信号质量检测 · 干扰排除
光栅调试
23
直线电机调试
推力波动补偿 · 齿槽效应 · 端部效应
直线电机补偿
24
气浮平台调试
气压控制 · 气膜刚度 · 节流器选型
气浮调试
25
纳米级定位延伸
压电陶瓷 · 柔性铰链 · 电容传感器
纳米精密
26
系统集成案例
光刻机工件台 · 晶圆检测平台 · 探针台
案例集成
27
性能测试方法
阶跃响应 · 频率响应 · 定位误差分析
测试响应
28
行业标准与规范
SEMI标准 · ISO 230 · JIS B 6336
标准规范
29
前沿技术
智能预测控制 · 数字孪生 · AI调参
前沿智能
30
综合项目实战
从需求分析到验收交付的全流程
实战全流程