第1章
曝光机概述
光刻技术发展史 · 步进扫描曝光机工作原理 · 在芯片制造中的核心地位
基础原理
第2章
同步控制基础概念
什么是同步控制 · 步进与扫描的区别 · 同步精度对光刻质量的影响
核心概念
第3章
运动控制系统架构
上位机 · 运动控制器 · 伺服驱动器 · 光栅尺反馈层级关系
架构硬件
第4章
步进运动控制
步进电机原理 · 加减速曲线规划 · 点位运动与整定
运动整定
第5章
扫描运动控制
扫描轴匀速控制 · 扫描速度与曝光剂量 · 抖动抑制
扫描抗扰
第6章
同步控制核心算法
主从跟随控制 · 前馈补偿 · 交叉耦合控制策略
算法核心
第7章
位置反馈系统
光栅尺与编码器选型 · 信号细分插补 · 实时位置采集
反馈传感器
第8章
速度与加速度前馈
前馈数学原理 · 参数整定方法 · 对同步误差的改善
前馈整定
第9章
龙门双驱同步控制
双电机驱动结构 · 电子齿轮与电子凸轮 · 实时补偿
双驱龙门
第10章
扫描与步进耦合控制
扫描过程步进轴微动补偿 · 耦合误差建模分析
耦合补偿
第11章
实时操作系统与通信
RTOS选型 · EtherCAT总线 · 数据同步实时性
系统通信
第12章
控制周期与任务调度
控制周期确定 · 多任务优先级 · 看门狗与安全
调度实时
第13章
同步误差测量与评估
误差测量方法 · 时域频域分析 · MAE/RMS/3σ指标
测量评估
第14章
干扰源分析与抑制
机械振动 · 电气噪声 · 温度漂移影响及对策
抗干扰工程
第15章
PID参数整定实战
各参数影响 · Ziegler-Nichols · 基于模型优化
PID整定
第16章
自适应控制与自整定
自适应原理 · 参数在线辨识 · 曝光机应用
自适应智能
第17章
轨迹规划与插补
S曲线加减速 · B样条插补 · 轨迹平滑对同步影响
轨迹插补
第18章
电子凸轮与电子齿轮
凸轮表生成 · 齿轮比动态调整 · 同步控制应用
电子凸轮齿轮
第19章
多轴协同控制
多轴同步数学描述 · 主从与分布式 · 轴间耦合补偿
多轴协同
第20章
软件架构与模块设计
模块化设计 · 状态机管理 · 日志与调试接口
软件架构
第21章
上位机与下位机通信
TCP/IP与UDP · 数据包格式 · 心跳与断线重连
通信协议
第22章
数据采集与监控系统
实时采集 · 波形显示录波 · 离线分析工具
监控数据
第23章
故障诊断与保护机制
常见故障 · 故障树分析 · 软硬件保护策略
诊断保护
第24章
标定与校准流程
传感器标定 · 机械零点校准 · 同步相位校准
标定校准
第25章
现场调试与优化
调试步骤 · 常见问题排查 · 性能优化案例
调试优化
第26章
性能测试与验收
测试标准 · 用例设计 · 验收报告模板
测试验收
第27章
案例实战：90nm光刻机同步控制调试
项目背景 · 调试过程 · 问题与解决方案
案例90nm
第28章
案例实战：先进封装曝光机同步控制优化
高加速扫描 · 抖动抑制 · 产能提升
封装优化
第29章
前沿技术：预测控制与AI
模型预测控制 · 强化学习参数优化 · 数字孪生
AI前沿
第30章
课程总结与进阶路径
知识体系回顾 · 推荐书籍论文 · 开源项目与社区
总结资源