01
曝光机运动控制概述
工作原理 · 运动控制系统组成 · 实时补偿的意义与挑战
基础概念
02
运动控制基础
伺服电机与驱动器 · 编码器与反馈系统 · PID控制原理
伺服PID
03
实时系统与RTOS
实时操作系统概念 · 任务调度与优先级 · 中断管理
RTOS调度
04
位置检测与误差源
光栅尺与激光干涉仪 · 机械振动与热漂移 · 阿贝误差与余弦误差
检测误差
05
实时补偿算法基础
前馈补偿 · 交叉耦合补偿 · 迭代学习控制(ILC)入门
算法前馈
06
运动轨迹规划
S曲线加减速 · 梯形速度规划 · 轨迹插补与同步
轨迹插补
07
编码器信号处理
正交解码 · 倍频技术 · 信号滤波与抗干扰
编码器滤波
08
PID参数整定实战
手动整定 · 自动整定(Ziegler-Nichols) · 自抗扰控制(ADRC)简介
整定ADRC
09
前馈补偿技术
速度前馈与加速度前馈 · 摩擦补偿模型 · 重力补偿
前馈摩擦
10
交叉耦合控制
多轴同步误差定义 · 交叉耦合控制器设计 · 龙门同步应用
多轴龙门
11
迭代学习控制(ILC)
ILC基本原理 · P型与PD型ILC · 收敛性分析
ILC学习
12
自适应补偿
模型参考自适应控制(MRAC) · 自校正控制 · 增益调度
自适应MRAC
13
扰动观测器
DOB原理与设计 · 低通滤波器选择 · 在曝光机中的应用
DOB扰动
14
陷波滤波器
机械共振抑制 · 陷波滤波器设计 · 自适应陷波
陷波共振
15
热漂移补偿
温度传感器布局 · 热模型建立 · 实时热补偿策略
热漂移补偿
16
振动抑制技术
主动振动控制 · 被动隔振 · 前馈振动补偿
振动抑制
17
高速高精度定位
寻的算法 · 微动台与粗动台协同 · 宏微复合控制
定位宏微
18
实时通信协议
EtherCAT · EtherNet/IP · SERCOS III 对比与选型
通信EtherCAT
19
FPGA在运动控制中的应用
硬件加速 · 并行处理 · 自定义编码器接口
FPGA硬件
20
软件架构设计
模块化设计 · 状态机 · 实时任务划分
架构状态机
21
数据采集与监控
高速数据记录 · 实时波形显示 · 性能指标计算
采集监控
22
故障诊断与保护
限位开关与软限位 · 急停逻辑 · 伺服报警处理
故障保护
23
标定与校准
激光干涉仪标定 · 球杆仪测试 · 误差映射与补偿表
标定校准
24
安全性与可靠性
冗余设计 · 看门狗定时器 · 安全转矩关闭(STO)
安全STO
25
案例：晶圆对准系统
对准流程 · 对准算法 · 实时补偿实现
晶圆对准
26
案例：激光直写曝光机
振镜控制 · 平台同步 · 实时焦点补偿
激光直写
27
案例：PCB曝光机
大幅面拼接 · 多轴同步 · 吞吐量优化
PCB拼接
28
性能测试与验证
阶跃响应 · 正弦跟踪 · 轮廓误差分析
测试验证
29
前沿技术
学习型控制 · 数字孪生 · 云端运动控制
前沿数字孪生
30
综合项目实战
从需求分析到系统集成，完整曝光机运动控制方案设计
项目实战